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      鄭州華晶金剛石股份有限公司

      瑞華科技專注第四代半導體材料裝備和生產工藝研發—— 精雕細琢一顆金剛石

      關鍵詞 金剛石|2024-04-29 11:25:46|來源 湖北日報
      摘要 經過MPCVD(微波等離子體化學氣相沉積)、激光切割、雕琢等工序,一顆顆金剛石被制作成散熱片等產品,成為半導體基體材料“新貴”。4月22日,位于荊州經開區的湖北瑞華科技有限公司生產...

             經過MPCVD(微波等離子體化學氣相沉積)、激光切割、雕琢等工序,一顆顆金剛石被制作成散熱片等產品,成為半導體基體材料“新貴”。4月22日,位于荊州經開區的湖北瑞華科技有限公司生產車間里,數臺自動化切割機并排作業,忙碌有序。

             “你看,金剛石經過MPCVD,就像蒸饅頭一樣逐漸變大。”瑞華科技車間主任甘俊偉說,經過“膨脹”的金剛石,在切割機的精細操作下,襯底與生長層被巧妙地分離。生長層既可以被雕琢成熠熠生輝的鉆石,也可以被切成薄片,用作高效的散熱片。分離出來的襯底可以再次用于MPCVD的生長,循環利用。

             瑞華科技于2022年11月落戶荊州,是一家聚焦高端功能金剛石材料生產的高科技企業,力求在大尺寸、高質量金剛石生長裝備及金剛石生長技術上取得重大突破,破解我國在這一領域的技術難題。

             今年2月,瑞華科技一期項目進入試生產階段,首批50臺機器主要生產散熱片、鉆石等產品。

             “鉆石就是我們在市面上看到的裸鉆,散熱片主要運用于集成電路里面,在汽車等行業中發揮著不可或缺的作用。”甘俊偉介紹,所有的電器元件在運行中都會產生熱量,隨著電路集成度的不斷提升,散熱需求也日益增長。與傳統散熱材料相比,金剛石散熱能力更強,是銅的5倍,硅的10倍,未來應用場景十分廣闊。

             據介紹,我國是人造金剛石生產大國,但產品主要集中在磨料磨具領域,高端應用尚處于起步階段,在金剛石功能材料領域長期被國外壟斷。

             瑞華科技辦公室主任毛莉介紹,公司研發中心位于武漢,數年前率先在國內布局第四代半導體材料裝備和生長工藝研發,推進我國高端金剛石的深度產業化應用,成功研制分子束外延(MBE)和金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)兩種半導體材料生長裝備與相關工藝。

             “天然金剛石材料成本較高,我們正致力于加大研發力度,優化生產工藝,用MPCVD法生產出來的金剛石替代天然金剛石。”毛莉說,公司正積極與一些研究所、知名新能源汽車品牌合作,加快金剛石散熱片新材料的應用進程。

       

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