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      研究實現異質外延單晶金剛石襯底的制備

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      日期 2024-11-26   

      西安交大成功實現2英寸異質外延單晶金剛石襯底量產

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      近日,由西安交通大學王宏興教授領銜的創業團隊在單晶金剛石襯底技術產業化上取得了重大進展和突破。該團隊采用一種基于微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)技術實現了2英寸異...

      日期 2024-01-09   

      異質外延單晶金剛石及其相關電子器件的研究進展

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      異質外延單晶金剛石及其相關電子器件的研究進展
      異質外延單晶金剛石及其相關電子器件的研究進展

      1異質外延單晶金剛石微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)是高質量單晶金剛石制備的主流方法。根據襯底選擇可將其分為同質外延和異質外延兩種。同質外延以單晶金剛石為襯底,通...

      日期 2023-09-05   
        共 3 條記錄

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