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黃河旋風(fēng)申請降低CVD單晶金剛石生長過程中應(yīng)力的方法專利，穩(wěn)定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺(tái)之間的傳熱

關(guān)鍵詞黃河旋風(fēng)|2024-03-04 09:10:56|來源金融界

摘要金融界2024年3月4日消息，據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，河南黃河旋風(fēng)股份有限公司申請一項(xiàng)名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應(yīng)力的方法“，公開號(hào)CN117626421A，申請日期為20...

金融界2024年3月4日消息，據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局公告，河南黃河旋風(fēng)股份有限公司申請一項(xiàng)名為“降低CVD單晶金剛石生長過程中應(yīng)力的方法“，公開號(hào)CN117626421A，申請日期為2023年12月。

專利摘要顯示，本發(fā)明公開了一種降低CVD單晶金剛石生長過程中應(yīng)力的方法，包括以下步驟：（1）清洗單晶金剛石籽晶及銅箔組件；（2）將單晶金剛石籽晶非生長面進(jìn)行刻蝕處理；（3）在單晶金剛石籽晶刻蝕面表面鍍覆金屬M(fèi)o層；(4)等離子表面碳化處理生成金屬碳化物層；(5)將處理后的單晶金剛石籽晶與金屬銅箔對(duì)齊高溫固化，利用化學(xué)氣相沉積爐進(jìn)行焊接并完成鍵合；（6）通過生長獲得低應(yīng)力單晶金剛石。本發(fā)明旨在穩(wěn)定單晶金剛石籽晶與樣品生長臺(tái)之間的傳熱，減少單晶金剛石表面生長溫度梯度，降低CVD單晶金剛石生長過程中的應(yīng)力累積。

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