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       9月19日，廣東省科技廳發(fā)布通知，正式啟動2019年度廣東省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項項目申報工作。該重點專項目標(biāo)是：圍繞第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料、器件、模組以及可靠性測試技術(shù)等方面的迫切需求，在第三代半導(dǎo)體材料生長技術(shù)及設(shè)備、功率器件與模塊、射頻器件與模塊、深紫外固態(tài)光源等方面，開展核心技術(shù)攻關(guān)與應(yīng)用研究。

       本專項重點部署6個專題，每個專題含多個項目，其中包括MPCVD半導(dǎo)體金剛石單晶材料生長設(shè)備及關(guān)鍵工藝技術(shù)攻關(guān)項目。具體相關(guān)內(nèi)容如下：
       項目名稱：MPCVD 半導(dǎo)體金剛石單晶材料生長設(shè)備及關(guān)鍵工藝技術(shù)攻關(guān)

       研究內(nèi)容：

       1）開展基于微波誘導(dǎo)腔體共振激發(fā)的等離子體行為模擬研究，研制國產(chǎn)大功率微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備（MPCVD）；

       2）研制國產(chǎn)大功率微波發(fā)生器及其輔助設(shè)備，提高設(shè)備的運行效率；

       3）通過仿真與工藝實驗優(yōu)化，攻關(guān)大面積金剛石襯底的高速、高質(zhì)量與高均勻性的生長難題，制備高質(zhì)量大尺寸單晶金剛石襯底。

       考核指標(biāo)：

       1）研制出國產(chǎn) 30kW 大功率 2.45 GHz 的頻率發(fā)生設(shè)備，能量幅值波動小于 5%，頻率穩(wěn)定度在 1%；

       2）研制出國產(chǎn) 30kW 微波等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，實現(xiàn)大于 50 μm/h 的金剛石生長速率，其 N、Si 等雜質(zhì)的含量接近或低于金剛石光致發(fā)光光譜的檢測限；

       3）制備 2 英寸的單晶金剛石襯底，其（400）晶面的 XRD 搖擺曲線半高寬小于 50 弧秒，金剛石的一階拉曼位移半高寬小于4cm-1；

       4）以上指標(biāo)通過具有國家認證資質(zhì)的第三方測試機構(gòu)測試；

       5）設(shè)備平均故障間隔時間（MTBF）＞5000 小時；

       6）申請發(fā)明專利 10 件，圍繞項目形成的創(chuàng)新成果發(fā)表高水平論文。

       支持方式與強度：無償資助，每項不超過2500 萬元。

廣東省科學(xué)技術(shù)廳關(guān)于組織申報2019年度廣東省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項項目的通知

       省直有關(guān)部門、各地級以上市科技局（委）、各有關(guān)單位：

　　根據(jù)《廣東省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃實施方案》，現(xiàn)啟動2019年度廣東省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃“第三代半導(dǎo)體材料與器件”重大專項項目申報工作（申報指南見附件1）。有關(guān)事項通知如下：

　　一、申報要求

　　（一） 項目申報單位（包括科研院所、高校、企業(yè)、其他事業(yè)單位和行業(yè)組織等）應(yīng)注重產(chǎn)學(xué)研結(jié)合、整合省內(nèi)外優(yōu)勢資源。申報單位為省外地區(qū)的，項目評審與廣東省內(nèi)單位平等對待，港澳地區(qū)高校院所按照《廣東省科學(xué)技術(shù)廳廣東省財政廳關(guān)于香港特別行政區(qū)、澳門特別行政區(qū)高等院校和科研機構(gòu)參與廣東省財政科技計劃（專項、基金等）組織實施的若干規(guī)定（試行）》（粵科規(guī)范字〔2019〕1號）文件精神納入相應(yīng)范圍。

　　省外單位牽頭申報的，經(jīng)競爭性評審，擇優(yōu)納入科技計劃項目庫管理。入庫項目在滿足科研機構(gòu)、科研活動、主要團隊到廣東落地，且項目知識產(chǎn)權(quán)在廣東申報、項目成果在廣東轉(zhuǎn)化等條件后，給予立項支持。

　　（二） 堅持需求導(dǎo)向和應(yīng)用導(dǎo)向。鼓勵企業(yè)牽頭申報，牽頭企業(yè)原則上應(yīng)為高新技術(shù)企業(yè)或龍頭骨干企業(yè)，建有研發(fā)機構(gòu)，在本領(lǐng)域擁有國家級、省部級重大創(chuàng)新平臺，且以本領(lǐng)域領(lǐng)軍人物作為項目負責(zé)人。鼓勵加大配套資金投入，企業(yè)牽頭申報的，項目總投入中自籌經(jīng)費原則上不少于70%；非企業(yè)牽頭申報的，項目總投入中自籌經(jīng)費原則上不少于50%（自籌經(jīng)費主要由參與申報的企業(yè)出資）。

　　（三） 省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃申報單位總體不受在研項目數(shù)的限項申報約束，項目應(yīng)依托在該領(lǐng)域具有顯著優(yōu)勢的單位，加強資源統(tǒng)籌和要素整合，集中力量開展技術(shù)攻關(guān)。不鼓勵同一單位或同一研究團隊分散力量、在同一專項中既牽頭又參與多個項目申報，否則納入科研誠信記錄并進行相應(yīng)處理。

　　（四） 項目負責(zé)人應(yīng)起到統(tǒng)籌領(lǐng)導(dǎo)作用，能實質(zhì)性參與項目的組織實施，防止出現(xiàn)拉本領(lǐng)域高端知名專家掛名現(xiàn)象。

　　（五） 項目內(nèi)容須真實可信，不得夸大自身實力與技術(shù)、經(jīng)濟指標(biāo)。各申報單位須對申報材料的真實性負責(zé)，要落實《關(guān)于進一步加強科研誠信建設(shè)的若干意見》（廳字〔2018〕23號）要求，加強對申報材料審核把關(guān)，杜絕夸大不實，甚至弄虛作假。各申報單位、項目負責(zé)人須簽署《申報材料真實性承諾函》（模板可在陽光政務(wù)平臺系統(tǒng)下載，須加蓋單位公章）。項目一經(jīng)立項，技術(shù)、產(chǎn)品、經(jīng)濟等考核指標(biāo)無正當(dāng)理由不予修改調(diào)整。

　　（六） 申報單位應(yīng)認真做好經(jīng)費預(yù)算，按實申報，且應(yīng)符合申報指南有關(guān)要求。牽頭承擔(dān)單位原則上應(yīng)承擔(dān)項目的核心研究任務(wù)，分配最大份額的項目資金。項目研究成果須在廣東轉(zhuǎn)化和產(chǎn)業(yè)化。

　　（七） 有以下情形之一的項目負責(zé)人或申報單位不得進行申報或通過資格審查：

       1.項目負責(zé)人有廣東省級科技計劃項目3項以上（含3項）未完成結(jié)題或有項目逾期一年未結(jié)題（平臺類、普惠性政策類、后補助類項目除外）；

       2.項目負責(zé)人有在研廣東省重大科技專項項目、重點領(lǐng)域研發(fā)計劃項目未完成驗收結(jié)題（此類情形下該負責(zé)人還可作為項目組成員參與項目申報）；

       3.在省級財政專項資金審計、檢查過程中發(fā)現(xiàn)重大違規(guī)行為；

       4.同一項目通過變換課題名稱等方式進行多頭或重復(fù)申報；

       5.項目主要內(nèi)容已由該單位單獨或聯(lián)合其他單位申報并已獲得省科技計劃立項；

       6.省內(nèi)單位項目未經(jīng)科技主管部門組織推薦；

       7.有尚在懲戒執(zhí)行期內(nèi)的科研嚴重失信行為記錄和相關(guān)社會領(lǐng)域信用“黑名單”記錄；

       8.違背科研倫理道德。

　　（八） 申報項目還須符合申報指南各專題方向的具體申報條件。

　　二、申報方式

　　符合指南申報條件的單位通過“廣東省政務(wù)服務(wù)網(wǎng)”或“廣東省科技業(yè)務(wù)管理陽光政務(wù)平臺（http：//pro.gdstc.gov.cn）”提交有關(guān)材料進行申報。項目申報采用在線申報、無紙化方式，必要的技術(shù)、財務(wù)、知識產(chǎn)權(quán)、合作協(xié)議、承諾函等佐證支撐材料請以附件形式上傳。申報材料不宜通過網(wǎng)絡(luò)形式提交的，由申報單位提出書面申請，報省科技廳同意后可走線下申報。

　　項目評審評估過程須提供的補充材料由第三方專業(yè)機構(gòu)另行通知提交。項目按程序立項后，項目申報書、任務(wù)書紙質(zhì)件再一并報送至省科技廳綜合業(yè)務(wù)辦理大廳（均需簽名、蓋章，提交時間及具體要求另行通知）。

　　三、評審及立項說明

　　省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃項目由第三方專業(yè)機構(gòu)組織評審，對申報項目的背景、依據(jù)、技術(shù)路線、科研能力、時間進度、經(jīng)費預(yù)算、績效目標(biāo)等進行評審論證，并進行技術(shù)就緒度和知識產(chǎn)權(quán)等專業(yè)化評估：

　　（一） 技術(shù)就緒度與先進性評估。本專項主要支持技術(shù)就緒度4～7級的項目，其中，技術(shù)就緒度目前為4～6級的項目在完成后原則上應(yīng)有3級以上提高，目前為7級的項目在完成后應(yīng)達到9級（技術(shù)就緒度評價標(biāo)準(zhǔn)及細則見附件2），各申報單位應(yīng)在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報告提綱可在陽光政務(wù)平臺系統(tǒng)下載）。

　　（二） 查重及技術(shù)先進性分析。將利用大數(shù)據(jù)分析技術(shù)，對照國家科技部科技計劃歷年資助項目與廣東省科技計劃歷年資助項目，對擬立項項目進行查重和先進性等分析。

　　（三） 知識產(chǎn)權(quán)分析評議。項目研究成果一般應(yīng)有高質(zhì)量的知識產(chǎn)權(quán)，請各申報單位按照高質(zhì)量知識產(chǎn)權(quán)分析評議指引（見附件3）的有關(guān)要求加強本單位知識產(chǎn)權(quán)管理，提出項目的高質(zhì)量知識產(chǎn)權(quán)目標(biāo)，并在可行性報告中按要求對此進行闡述并提供必要的佐證支撐材料（可行性報告提綱可在陽光政務(wù)平臺系統(tǒng)下載），勿簡單以專利數(shù)量、論文數(shù)量作為項目目標(biāo)。

　　擬立項項目經(jīng)領(lǐng)域?qū)＜液蛻?zhàn)略咨詢專家審議，并按程序報批后納入項目庫管理，按年度財政預(yù)算及項目落地情況分批出庫支持，視項目進展分階段進行資金撥付。

　　同一指南中的同一項目方向（或子方向），原則上只支持1項（指南有特殊說明的除外），在申報項目評審結(jié)果相近且技術(shù)路線明顯不同時，可予以并行支持。

　　四、申報時間

　　申報單位網(wǎng)上集中申報時間為2019年9月 19日～10月14 日18:00，主管部門網(wǎng)上審核推薦截止時間為2019年10月21日18:00。

　　五、聯(lián)系人及電話
       1.高新技術(shù)處（專題業(yè)務(wù)咨詢）：張志彤，020-83163387

       2.業(yè)務(wù)受理及技術(shù)支持：020-83163930、83163338

       3.資源配置與管理處（綜合性業(yè)務(wù)咨詢）：司圣奇　020-83163838