您好 歡迎來到超硬材料網  | 免費注冊
      遠發信息:磨料磨具行業的一站式媒體平臺磨料磨具行業的一站式媒體平臺
      手機資訊手機資訊
      官方微信官方微信
      鄭州華晶金剛石股份有限公司

      用于下一代功率器件的金剛石表面水蒸氣退火技術

      關鍵詞 金剛石 , 退火|2019-01-08 09:43:56|來源 端樂基
      摘要 鉆石因其耀眼的美感而備受追捧,通常以精美的珠寶展示。但是,這種固體碳也因其出色的物理和電子特性而聞名。在日本,由KyoYoshida領導的金澤大學自然科學與技術研究生院和筑波AIS...

             鉆石因其耀眼的美感而備受追捧,通常以精美的珠寶展示。但是,這種固體碳也因其出色的物理和電子特性而聞名。

      20190105040649977.jpg

            在日本,由Kyo Yoshida領導的金澤大學自然科學與技術研究生院和筑波AIST的研究人員利用水蒸汽退火形成了原子級平坦的羥基封端金剛石表面。

            Diamond具有許多特性,使其在電子電源設備中的應用具有吸引力。然而,雖然肉眼看起來很完美,但鉆石含有在原子水平上可觀察到的缺陷,這些缺陷會產生獨特的表面特性,影響它在設備中的應用方式。

            為了穩定金剛石結構,使用使用氧氣或氫氣的表面終止。氫封端(H端接)金剛石表面包含二維空穴氣體層(2DHG),可實現高溫和高壓操作。氧封端的金剛石表面是通過H端接表面的表面氧化形成的,它可以去除碳氫(CH)鍵和2DHG,“但這會使金剛石表面變得粗糙并導致器件性能下降,”Norio Tokuda說。金澤大學。

            為了克服這個問題,研究人員應用了水蒸氣退火工藝。它們始于(111)取向的高壓,高溫合成單晶金剛石Ib和IIa基板。通過微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)在Ib基板上生長同質外延金剛石膜。為了獲得原子級平坦的H端接表面,將金剛石樣品暴露于MPCVD室中的H-等離子體。為了形成羥基封端的表面,對H-封端的金剛石樣品進行水蒸氣退火。退火處理在氮氣氛下在電爐中的石英管中通過超純水鼓泡。

            結果表明,在400℃以下的水蒸氣退火過程中,CH鍵保留在金剛石表面; 因此,檢測到2DHG。

            “然而,500°C以上的水蒸汽退火去除了金剛石表面的CH鍵,”Yoshida解釋說,“表明2DHG消失了。”

            因此,結果表明水蒸氣退火可以去除2DHG,同時保持(111)取向的金剛石表面的表面形態。

            “與去除2DHG的常規技術相比,例如濕化學氧化,”Tokuda說,“水蒸汽退火提供了保持原子級平坦表面的優勢。”

       

      ① 凡本網注明"來源:超硬材料網"的所有作品,均為河南遠發信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明"來源:超硬材料網"。違反上述聲明者,本網將追究其相關法律責任。

      ② 凡本網注明"來源:XXX(非超硬材料網)"的作品,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責。

      ③ 如因作品內容、版權和其它問題需要同本網聯系的,請在30日內進行。

      ※ 聯系電話:0371-67667020

      柘城惠豐鉆石科技股份有限公司
      河南聯合精密材料股份有限公司
      主站蜘蛛池模板: 精品一区二区三区免费视频| 熟妇人妻AV无码一区二区三区| 亚洲AV综合色一区二区三区| 无码欧精品亚洲日韩一区夜夜嗨 | 久久精品无码一区二区三区免费| 亚洲AV无码一区二区三区在线观看| 无码人妻aⅴ一区二区三区| 日本午夜精品一区二区三区电影| 国产成人无码一区二区三区在线 | 亚洲一区免费视频| 在线观看一区二区三区视频| 久久一区二区精品综合| 三上悠亚国产精品一区| 国产精品一区三区| 亚洲A∨精品一区二区三区| 日本一区中文字幕日本一二三区视频| 午夜福利一区二区三区在线观看 | 国产AV午夜精品一区二区三区| 日韩一区二区三区精品| 国产精品区一区二区三| 精品视频午夜一区二区| 日韩精品一区二区三区中文字幕 | 精品亚洲AV无码一区二区三区 | 一区二区3区免费视频| 免费无码A片一区二三区| 精品一区二区ww| 免费无码A片一区二三区| 日韩人妻无码免费视频一区二区三区| 国产香蕉一区二区在线网站| 亚洲av无一区二区三区| 韩国精品福利一区二区三区| 成人精品一区久久久久| 夜色阁亚洲一区二区三区| 中文乱码精品一区二区三区| 亚洲成AV人片一区二区密柚| 精品无码成人片一区二区98| 国产精品无码一区二区三区在| 国产精品亚洲综合一区| 日韩精品无码中文字幕一区二区| 国产精品视频一区二区猎奇| 国产乱码精品一区二区三区四川|