真空鍍膜技術是一種新穎的材料合成與加工的新技術,是表面工程技術領域的重要組成部分。真空鍍膜技術是利用物理、化學手段將固體表面涂覆一層特殊性能的鍍膜,從而使固體表面具有耐磨損、耐高溫、耐腐蝕、抗氧化、防輻射、導電、導 磁、絕緣和裝飾等許多優于固體材料本身的優越性能,達到提高產品質量、延長產品壽命、節約能源和獲得顯著技術經濟效益的作用。因此真空鍍膜技術被譽為最具發展前途的重要技術之一 ,并已在高技術產業化的發展中展現出誘人的市場前景。這種新興的真空鍍膜技術已在國民經濟各個領域得到應用,如航空、航天、電子、信息、機械、石油、化工、環保、軍事等領域。
我研究所從上世紀80年代開始從事真空鍍膜技術的研究開發,完成了大量科研項目,取得了一批科研成果,如:"陰極電弧鍍技術制備TiN裝飾膜、超硬膜及其應用"獲中國有色金屬工業總公司科技進步二等獎;"金剛石鍍膜制備技術"獲中國有色金屬工業總公司科技進步二等獎;"金剛石涂層刀具研究"獲國家有色工業局科技進步三等獎;"類金剛石鍍膜制備技術及其應用"獲中國有色金屬工業總公司科技二等獎。
本研究所多年來形成了從陰極電弧鍍、磁控濺射、等離子體增強化學氣相沉積、熱絲化學氣相沉積、直流等離子體化學氣相沉積等技術為代表的真空鍍膜技術,可制備TiN、TiC、TiCN、TiAIN、DLC(類金剛石)、金剛石、透明Al2O3、Cu、Ag等多種金屬及化合物涂層及其多層復合涂層,可廣泛應用于工具、模具、耐磨、耐腐蝕及裝飾等領域。