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      鄭州華晶金剛石股份有限公司

      金剛石薄膜生成技術(shù)擴(kuò)大了MEMS的應(yīng)用范圍

      關(guān)鍵詞 金剛石薄膜 , 技術(shù) , 擴(kuò)大 , MEMS , 應(yīng)用范圍|2006-09-12 00:00:00|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
      摘要 國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(位于伊利諾州的Argonne)的研究人員成功地開(kāi)發(fā)了一種被命名為超納米結(jié)晶膜的金剛石薄膜。此種薄膜技術(shù)預(yù)計(jì)將大大加速M(fèi)EMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的發(fā)展。此種薄膜將金剛石本...

        國(guó)家實(shí)驗(yàn)室(位于伊利諾州的Argonne)的研究人員成功地開(kāi)發(fā)了一種被命名為超納米結(jié)晶膜的金剛石薄膜。此種薄膜技術(shù)預(yù)計(jì)將大大加速MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)的發(fā)展。此種薄膜將金剛石本質(zhì)的優(yōu)良機(jī)械性能,摩擦性能,和熱性能(優(yōu)異的硬度,耐磨損性,和極低的摩擦系數(shù)等)引入了迅猛發(fā)展的MEMS領(lǐng)域。
        迄今為止,許多MEMS裝置由于采用的硅材料,在耐久性和耐摩擦方面不夠理想,因而不能勝任;現(xiàn)在由于超納米結(jié)晶膜的出現(xiàn),有望可以得到解決。例如,微型馬達(dá)中的齒輪如果采用硅材料來(lái)做,由于轉(zhuǎn)速必須接近每分鐘400000轉(zhuǎn)才能進(jìn)行某些機(jī)械加工,不出幾分鐘,齒輪就將因磨損而失去作用。
        超納米結(jié)晶膜是采用Argonne的專利技術(shù),化學(xué)氣相淀積(CVD)方法生成的。薄膜呈現(xiàn)獨(dú)立的金剛石結(jié)構(gòu),厚度約為100到300nm,摩擦系數(shù)可以低到0.01。CVD過(guò)程是在氬等離子體中,使fullerence圓球(由60個(gè)純碳原子組成的球形分子),裂化成為雙原子的碳分子(二聚物)。
        在Argonne隨后進(jìn)行了其它方法的研究,也取得了同樣的效果。它在氬等離子體中,引入甲烷,如果沒(méi)有或很少有氫存在時(shí),也可以產(chǎn)生同樣的膜。例如在硅晶圓片上預(yù)先準(zhǔn)備好微細(xì)的金剛石粉末,生成球形的等離子體使之包圍晶圓片或其它材料。當(dāng)碳二聚物在等離子體中的晶圓片上形成時(shí),這些碳二聚物形成直徑大約為3到5nm的結(jié)晶,并自動(dòng)排列成薄膜。 

       

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