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      低能耗金剛石MEMS品質因子增強機制及策略研究

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      近日,日本國立物質材料研究所廖梅勇主席研究員團隊的AMR述評文章“Low-EnergyDissipationDi...

      日期 2024-09-23   
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      近期,一個由日本國立材料研究所(NIMS)領導的研究小組成功地研制出一種高質量的金剛石懸臂,在室溫下具有最高的質...

      日期 2018-12-25   
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      根據莫斯科物理技術學院(MoscowInstituteofPhysicsandTechnology;MIPT)的...

      日期 2016-06-08   

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      日本微機械中心(MicromachineCenter)于7月29~31日在東京有明國際會展中心主辦了“第20屆微機械/MEMS展”,該展會的承辦...

      日期 2009-08-19   

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      國家實驗室(位于伊利諾州的Argonne)的研究人員成功地開發了一種被命名為超納米結晶膜的金剛石薄膜。此種薄膜技術預計將大大加速MEMS(微機電系統)技術的發展。此種薄...

      日期 2006-09-12   
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