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制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置

關鍵詞制備 , 類金剛石薄膜 , 電化學 , 沉積|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置公開號1205367公開日1999.01.20主分類號C25D9/08&

名稱	制備類金剛石薄膜的電化學沉積方法及其裝置
公開號	1205367	公開日	1999.01.20
主分類號	C25D9/08	分類號	C25D9/08
申請號	97111993.7
分案原申請號		申請日	1997.07.10
頒證日		優先權
申請人	北京理工大學	地址	100081北京市海淀區白石橋路7號
發明人	汪浩; 朱鶴孫	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	北京理工大學專利事務所	代理人	付雷杰
摘要	一種類金剛石薄膜的新制備方法，采用電化學沉積技術，以高頻脈沖調制直流高壓電源提供能量，選擇甲醇作為電沉積溶液，在液相中制備出了類金剛石薄膜。這種薄膜是不含氫的具有非晶結構的類金剛石碳膜，具有一定的耐化學腐蝕能力，其電阻率在１０#+[７]Ω．cm量級，顯微硬度在１２～１５ＧＰa之間。由于該方法具有沉積溫度低，成膜均勻性好，反應條件容易控制，設備簡單的特點，因此有很好的應用前景

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