| 名稱 | 用巴基管作基底涂層的金剛石薄膜制造方法 | ||
| 公開號 | 1136088 | 公開日 | 1996.11.20 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C23C16/46;C23C16/02 |
| 申請號 | 96102608.1 | ||
| 分案原申請號 | 申請日 | 1996.02.09 | |
| 頒證日 | 優先權 | ||
| 申請人 | 清華大學 | 地址 | 100084北京市海淀區清華園 |
| 發明人 | 高志棟; 梁吉; 魏秉慶; 曾效舒; 吳德海; 王克忠; 李玉 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構 | 清華大學專利事務所 | 代理人 | 章瑞溥 |
| 摘要 | 一種金剛石薄膜的制造方法，屬非金屬元素的制備領域。本方法是在基底上涂刷混合于苯、酚、醇等有機溶劑中的巴基管溶液，干燥后將基底放入真空室內，充入碳氫化合物氣體(CH#-[4]或C#-[2]H#-[2]）與H#-[2]的混合氣體，加熱混合氣體及基底，使碳沉積在基底上，合成金剛石薄膜。用本發明方法制造金剛石薄膜生長速度快、質量高。 | ||
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