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      專利:一種納米金剛石薄膜及其制備方法

      關(guān)鍵詞 納米金剛石 , 薄膜|2016-07-26 09:14:25|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
      摘要 申請人:浙江大學(xué)發(fā)明人:楊彬;雷樂成;李浩申請人地址:浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)&
             申請人: 浙江大學(xué)
             發(fā)明人: 楊彬; 雷樂成; 李浩
             申請人地址: 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
             摘要: 本發(fā)明公開了一種采用熱絲化學(xué)氣相沉積法制備納米金剛石薄膜的方法。該方法僅以甲烷、氫氣為反應(yīng)前驅(qū)體,無需加入其它惰性氣體,其中甲烷的含量須大于6%,熱絲溫度控制在2000℃以上;反應(yīng)壓力控制在中等低壓條件均可,最大壓力甚至達(dá)到6kPa;襯底表面溫度在750~850℃范圍內(nèi)為最優(yōu)選擇。采用該方法制備的納米金剛石薄膜,晶粒尺寸約為幾納米至幾十納米不等,薄膜生長速率大于500nm/h。本發(fā)明制備方法簡單,反應(yīng)氣源單一,無需加入其它惰性氣體,沉積速率快,遠(yuǎn)高于微波等離子體化學(xué)氣相沉積等方法,制得的納米金剛石薄膜質(zhì)量高、分布均勻,且該方法非常適合大面積的金剛石薄膜。
             主權(quán)利要求
             1.一種納米金剛石薄膜的制備方法,其特征在于,包括:以甲烷和氫氣的混合氣體作為反應(yīng)前驅(qū)體,采用熱絲化學(xué)氣相沉積法在襯底表面制備得到納米金剛石薄膜;其中,熱絲溫度在2000℃以上,襯底表面溫度在750~850℃之間,反應(yīng)壓力為3000~6000Pa。
       

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