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       申請人：河北普萊斯曼金剛石科技有限公司

       摘要： 一種用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，包括上部的陰極、位于陰極正下部的陽極、同心套裝在陰極外部的圓筒形輔助電極，輔助電極至少一個，陰極和輔助電極之間設(shè)有隔離密封環(huán)，相鄰的輔助電極之間設(shè)有隔離密封環(huán)，最外層輔助電極外部套裝有磁場線包，陽極為環(huán)形的中空管，并連接有兩個進(jìn)出水導(dǎo)管。該炬能有效的防止電弧在陰極和各輔助電極內(nèi)部引燃或回縮到各電極之間內(nèi)部放電，從而避免燒壞各極間隔離的絕緣材料。可以根據(jù)需要方便的更換不同口徑的陽極，而不需要更換整個炬。還可以調(diào)節(jié)陽極到陰極之間的垂直距離，以便優(yōu)化等離子體射流，獲得最佳的沉積效果。

       主權(quán)利要求：1.一種用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，包括上部的陰極、位于陰極正下部的陽極、同心套裝在陰極外部的圓筒形輔助電極，其特征是：所述的輔助電極至少一個，陰極和輔助電極之間設(shè)有隔離密封環(huán)，相鄰的輔助電極之間設(shè)有隔離密封環(huán)，最外層輔助電極外部套裝有磁場線包，所述的陽極為環(huán)形的中空管，并連接有進(jìn)出水導(dǎo)管。

       2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述 的陽極的橫截面為方形，或者為圓形。

       3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述 的輔助電極下部加寬。

       4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述 的隔離環(huán)密封環(huán)由耐熱的絕緣材料制成，其上開有進(jìn)氣道，其中至少有一個是 切向進(jìn)氣。

       5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述 的輔助電極由雙層金屬管焊接而成，內(nèi)設(shè)水冷夾層。

       6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積的等離子炬，其特征是：所述 的輔助電極不接電源的正極或負(fù)極。