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      高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究

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      高定向納米金剛石膜的高功率微波等離子體化學氣相沉積研究

      摘要:采用高功率微波等離子體化學氣相沉積法制備了高定向的納米金剛石膜,研究了制備過程中促進高定向納米金剛石膜的生長條件與生長規律間的關聯,并采用掃描電鏡、原子...

      日期 2018-02-12   
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