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      金剛石膜生長電極彈性張緊裝置

      關(guān)鍵詞 金剛石膜 , 電極 , 彈性張緊裝置|2012-03-23 09:43:18|行業(yè)專利|來源 中國超硬材料網(wǎng)
      摘要 專利號:CN102226273A申請人:南京航空航天大學(xué)一種金剛石膜生長電極彈性張緊裝置,包括底板和襯底工作臺,其特

              專利號:CN102226273A

              申請人:南京航空航天大學(xué)

              一種金剛石膜生長電極彈性張緊裝置,包括底板和襯底工作臺,其特征是所述熱絲的兩端固定在對應(yīng)的左鉬電極和右鉬電極中,所述的左鉬電極和右鉬電極分別安裝在對應(yīng)的左彈性支架和右彈性支架的上端,所述的左彈性支架和右彈性支架的下端對稱安裝在襯底工作臺兩側(cè)的底板上;所述的左彈性支架和右彈性支架的彈性系數(shù)k=(1~3)n*r2 ,其中r=0.1~1mm;左彈性支架和右彈性支架向內(nèi)收縮后兩端之間的距離L(mm)與熱絲的工作長度L1(mm)之間應(yīng)滿足以下關(guān)系L1=5+1.05L。本發(fā)明電極結(jié)構(gòu)簡單,制造成本低,在金剛石生長過程中熱絲始終保持平直狀態(tài),未出現(xiàn)熱絲被拉斷現(xiàn)象,襯底溫度場的均勻性得到改善,沉積的CVD金剛石膜均勻性提高。

       

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