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官方微信摘要 名稱通過化學(xué)汽相淀積生產(chǎn)碳化硅的方法和裝置公開號1166540公開日1997.12.03主分類號C30B25/00&
| 名稱 | 通過化學(xué)汽相淀積生產(chǎn)碳化硅的方法和裝置 | ||
| 公開號 | 1166540 | 公開日 | 1997.12.03 |
| 主分類號 | C30B25/00 | 分類號 | C30B25/00;C30B29/36 |
| 申請?zhí)?/strong> | 97102232.1 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1997.01.10 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1996.1.30[33]DE[31]19603323.3 | |
| 申請人 | 西門子公司 | 地址 | 聯(lián)邦德國慕尼黑 |
| 發(fā)明人 | 羅蘭·魯普; 約翰尼斯·韋爾克 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 柳沈知識產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所 | 代理人 | 楊梧 |
| 摘要 | 一種提高氣體利用率的通過ＣＶＤ生產(chǎn)ＳｉＣ的方法和裝置，其中，產(chǎn)生一股過程氣流（２），在基底（４）上通過ＣＶＤ從過程氣流（２）中離析出ＳｉＣ。此外還產(chǎn)生由一種惰性氣體組成的第二股氣流（３），它沿流動方向完全包圍過程氣流（２）。由此獲得過程氣體的高的產(chǎn)出率。 | ||
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