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官方微信摘要 名稱一種熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石的設(shè)備公開號2283067公開日1998.06.03主分類號C23C16/26&nbs
| 名稱 | 一種熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石的設(shè)備 | ||
| 公開號 | 2283067 | 公開日 | 1998.06.03 |
| 主分類號 | C23C16/26 | 分類號 | C23C16/26;C23C16/46 |
| 申請?zhí)?/strong> | 96225527.0 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1996.03.07 | |
| 頒證日 | 1998.03.12 | 優(yōu)先權(quán) | |
| 申請人 | 中國科學(xué)院金屬研究所 | 地址 | 110015遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號 |
| 發(fā)明人 | 聞立時; 黃榮芳; 陳巖; 劉德義; 程新紅 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 中國科學(xué)院沈陽專利事務(wù)所 | 代理人 | 張晨 |
| 摘要 | 一種熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石的設(shè)備，由反應(yīng)氣體入口，熱絲加熱器，樣品座等部分構(gòu)成，其特征在于：反應(yīng)氣體入口下方安裝有氣體分配器，氣體分配器上部為塔式結(jié)構(gòu)，內(nèi)裝１—１０層多孔節(jié)流隔板，分配器的下端為筒式結(jié)構(gòu)，正對下方的熱絲加熱器；熱絲加熱器為等距平行加熱絲平面陣列，水平放置；加熱器正下方與其垂直正交設(shè)置有等距平行的支撐絲平面陣列；正對加熱器下方為帶出氣孔的樣品座；樣品座周圍設(shè)有１—１０圈輔助加熱絲。本實用新型可以實現(xiàn)大面積地生長優(yōu)質(zhì)金剛石。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號