安徽華鑫微納集成電路有限公司宣布8英寸晶圓生產線首批產品成功串線,這標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線在蚌埠正式投產。
據了解,華鑫微納主要從事MEMS晶圓制造,可加工產品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等,主要應用于高端裝備、汽車電子等領域。該項目是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線。全部建成投產后,將具備月產3萬片晶圓的能力,成為國內產出最大的MEMS晶圓生產線。
近日華鑫微納副總經理丁敬秀介紹,“目前企業累計與50家客戶達成合作意向,簽訂流片需求合計21萬片,累計簽訂合同1.2億元,另有3萬余片晶圓合同正在洽談中,將有效支撐2025年1萬片達產。目前串線產品共13款,6款產品已經完成全流程工程批流片開始調試生產,計劃6月底前交付客戶做功能和可靠性驗證。”