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PVD與CVD涂層工藝比較

關鍵詞 PVD , CVD , 涂層 , 原創|2011-04-12 10:56:12|技術信息|來源中國超硬材料網

摘要 PVD與CVD涂層工藝比較沉積溫度涂層厚度涂層表面狀態主要涂層材料涂層結合強度對環境影響主要應用領域

PVD與CVD 涂層工藝比較
	沉積溫度	涂層厚度	涂層表面狀態	主要涂層材料	涂層結合強度	對環境影響	主要應用領域
物理氣相沉積	500℃或更低，沉積溫度低刀具變型不，基體的硬度強度不降低。	2～5μm, 涂層較薄，刃口鋒利。	涂層為壓應力，有利于抑制裂縫的擴展；刃口可不作鈍處理；表面致密，粗糙度低。	TiN TiCN TiA1N A1₂o₃ A1CrN MoS₂ WC/C 等。	低	無污染	1.高速鋼通用刀具：鉆頭、絲錐、立銑刀。 2.高速鋼精密復雜刀具：拉刀、齒輪刀具。 3.整體硬質合金刀具。 4.可轉位螺紋刀片、切斷、切槽刀片。
物理氣相沉積	1000℃，沉積溫度高，基體的硬度、強度降低，需開發專門的基體用于涂層。	5～20μm 或更厚，適合于開發多層厚膜涂層，高耐磨性。	涂層為拉應力，易生成裂縫；刃口必須作鈍化處理；表面較粗糙。	TiN TiC TiCN A1₂o₃ ZrO₂ 金剛石等。	高	排出的廢氣對環境有污染。	1.硬質合金可轉為刀片：車刀片、銑刀片等。 2.金剛石涂層。

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