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官方微信摘要 名稱在真空中生成金剛石般碳涂層的方法公開號(hào)1258322公開日2000.06.28主分類號(hào)C23C14/06&nbs
| 名稱 | 在真空中生成金剛石般碳涂層的方法 | ||
| 公開號(hào) | 1258322 | 公開日 | 2000.06.28 |
| 主分類號(hào) | C23C14/06 | 分類號(hào) | C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 98805586.4 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1998.05.28 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1997.5.30[33]RU[31]97108626 | |
| 申請(qǐng)人 | 帕蒂納公司 | 地址 | 挪威奧斯陸 |
| 發(fā)明人 | 瓦勒里·P·岡查倫科; 亞歷山大·J·科爾帕科夫; 安納 | 國際申請(qǐng) | PCT.NO98/00158 1998.5.28 |
| 國際公布 | WO98.54376 英 1998.12.3 | 進(jìn)入國家日期 | 1999.11.29 |
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 柳沈知識(shí)產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所 | 代理人 | 張平元 |
| 摘要 | 一種在真空中生成金剛石般碳涂層的方法，包括以下步驟：將部件表面預(yù)處理；將部件放入真空室中；用加速離子處理部件的表面；在經(jīng)處理的部件表面涂上一亞表層；從陰極斑點(diǎn)對(duì)石墨陰極進(jìn)行電弧真空濺射從而生成碳等離子體；將碳等離子體的離子加速；將所生成的碳等離子體沉積在部件表面從而生成金剛石般的碳涂層。采用脈沖電弧放電在石墨陰極的端表面激發(fā)一組陰極斑點(diǎn)，所述的斑點(diǎn)以10－30米每秒的速度沿陰極的端表面移動(dòng)，生成離子能量為40－100電子伏特的碳等離子體，等離子體中離子濃度為 10#+[12]－10#+[14]每立方厘米，部件在真空室中電絕緣。以及控制脈沖循環(huán)頻率來維持部件的溫度在200－450K。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)