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      1.  首頁(yè)
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      2. 專利
      3. 形成金剛石膜的方法  
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      形成金剛石膜的方法  
      
			關(guān)鍵詞 形成 , 金剛石膜|2010-12-10 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
			
      
			
      
				
      摘要 名稱形成金剛石膜的方法公開號(hào)1121963公開日1996.05.08主分類號(hào)C23C14/40
      				
      
	 
      

      
	
		
      
			
				名稱
			
				形成金剛石膜的方法 
		
      
		
      
			
				公開號(hào)
			
				1121963 
			
				公開日
			
				1996.05.08 　 
		
      
		
      
			
				主分類號(hào)
			
				C23C14/40 
			
				分類號(hào)
			
				C23C14/40;C01B31/06 
		
      
		
      
			
				申請(qǐng)?zhí)?/strong>
			
				95108952.8 　 
		
      
		
      
			
				分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>
			
				 
			
				申請(qǐng)日
			
				1995.07.18 　 
		
      
		
      
			
				頒證日
			
				 
			
				優(yōu)先權(quán)
			
				[32]1994.7.18[33]JP[31]165182/94 
		
      
		
      
			
				申請(qǐng)人
			
				佳能株式會(huì)社 　 
			
				地址
			
				日本東京　 
		
      
		
      
			
				發(fā)明人
			
				平林敬二; 吉川俊明 　 
			
				國(guó)際申請(qǐng)
			
				 
		
      
		
      
			
				國(guó)際公布
			
				 
			
				進(jìn)入國(guó)家日期
			
				 
		
      
		
      
			
				專利代理機(jī)構(gòu)
			
				中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 
			
				代理人
			
				徐汝巽 　 
		
      
		
      
			
				摘要
			
				　　一種通過(guò)高頻等離子體ＣＶＤ方法形成金剛石膜的方法，使用了電感耦合放電，并將高頻波的頻率設(shè)定在４０—２５０ＭＨｚ之間，由此將含碳的原料氣體分解為等離子體狀態(tài)，以在基體上形成金剛石膜。　　  
		
      
	      

      			
      	
			
      
 

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