中科磁控取得用于微波等離子體制備單晶金剛石的基片臺專利
關(guān)鍵詞 中科磁控 , 單晶金剛石 , 基片臺 , 專利|2024-12-19 10:48:04|行業(yè)專利|來源 金融界
摘要 金融界2024年12月18日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,中科磁控(北京)科技有限公司取得一項名為“一種用于微波等離子體制備單晶金剛石的基片臺”的專利,授權(quán)公告號CN2221604...
金融界2024年12月18日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,中科磁控(北京)科技有限公司取得一項名為“一種用于微波等離子體制備單晶金剛石的基片臺”的專利,授權(quán)公告號 CN 222160468 U,申請日期為 2024 年 4 月。
專利摘要顯示,本實用新型公開了一種用于微波等離子體制備單晶金剛石的基片臺,涉及單晶金剛石制備技術(shù)領(lǐng)域,包括第一鉬片以及第一鉬環(huán),第一鉬片用于承載籽晶,第一鉬環(huán)的底面上開設(shè)有第一凹槽,第一凹槽的內(nèi)側(cè)壁能夠與第一鉬片的外側(cè)壁緊密貼合,第一凹槽的內(nèi)頂面上開設(shè)有第一通孔;本實用新型公開的用于微波等離子體制備單晶金剛石的基片臺 能夠提升等離子體能量的利用率。
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