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申請?zhí)? 201720439924.0

申請日: 2017.04.21

申請人: 中國科學(xué)院金屬研究所

發(fā)明人: 姜辛; 劉魯生; 黃楠; 楊兵; 王宜豹

       摘要： 

       本實用新型涉及金剛石膜生長領(lǐng)域，尤其涉及一種自旋轉(zhuǎn)熱絲CVD金剛石刀具涂層制備樣品臺裝置。該裝置包括：底座、主齒輪、發(fā)條組件、旋鈕、副齒輪、刀具、刀具座，具體結(jié)構(gòu)如下：主齒輪、副齒輪在底座的內(nèi)部相嚙合，主齒輪上方依次為發(fā)條組件、旋鈕，發(fā)條組件上下分別與旋鈕、主齒輪軸連接；副齒輪上方依次為刀具座、刀具，刀具座上下分別與刀具、副齒輪連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉，制備出的金剛石刀具涂層厚度均勻、金剛石薄膜質(zhì)量高。

       主權(quán)利要求:

       一種自旋轉(zhuǎn)熱絲CVD金剛石刀具涂層制備樣品臺裝置，其特征在于，該裝置包括：底座、主齒輪、發(fā)條組件、旋鈕、副齒輪、刀具、刀具座，具體結(jié)構(gòu)如下：主齒輪、副齒輪在底座的內(nèi)部相嚙合，主齒輪上方依次為發(fā)條組件、旋鈕，發(fā)條組件上下分別與旋鈕、主齒輪軸連接；副齒輪上方依次為刀具座、刀具，刀具座上下分別與刀具、副齒輪連接。