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申請號: 201720497623.3

申請日: 2017.05.05

申請人: 寧波工程學院  

發明人: 王瑞來; 鮑明東; 徐雪波; 杜一; 馮超; 呂志甲; 楊夢夢 

       摘要： 

       本實用新型涉及金剛石膜制備技術領域，具體涉及一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備，包括鍍膜腔體(1)和工控系統，電極(2)和試樣臺(4)，還包括輔助腔體(5)，電動閥門(6)，所述電動閥門(6)與工控系統電連接，所述輔助腔體(5)內具有在鍍膜時用以向試樣(3)表面吹氣的吹氣裝置，所述吹氣裝置滑動連接在安裝臺(7)上，安裝臺(7)上還設有驅動裝置。采用這種結構后，當觀察到試樣表面出現異質顆粒物時，可以及時將異質顆粒物從試樣表面清除，從而可以避免鍍制出來的金剛石膜受到異質顆粒物的影響，保證鍍制出來的金剛石膜的質量。

       主權利要求:

       一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備，包括鍍膜腔體(1)、安裝臺架(40)和工控系統，所述鍍膜腔體(1)固定在安裝臺架(40)上，所述鍍膜腔體(1)內固定有電極(2)和用于夾持試樣(3)的試樣臺(4)，所述試樣臺(4)位于電極(2)正下方，其特征在于：所述一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備還包括輔助腔體(5)，所述輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)連接，所述輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)之間設有將輔助腔體(5)與鍍膜腔體(1)隔開的電動閥門(6)，所述電動閥門(6)與工控系統電連接，所述輔助腔體(5)內具有在鍍膜時用以向試樣(3)表面吹氣的吹氣裝置，所述輔助腔體(5)內固定有安裝臺(7)，所述吹氣裝置滑動連接在安裝臺(7)上，安裝臺(7)上還設有用以將吹氣裝置推向試樣(3)方向運動的驅動裝置，所述驅動裝置與吹氣裝置連接，所述輔助腔體(5)的腔體上連接有抽氣裝置(8)，所述一種化學氣相沉積鍍制金剛石膜的設備還包括用以給吹氣裝置提供氣源的氣源系統，所述吹氣裝置與氣源系統連接。