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       申請(qǐng)?zhí)枺?01710072261.8
       申請(qǐng)人：上海交通大學(xué) 上海交友鉆石涂層有限公司
       發(fā)明人：孫方宏 申笑天 王新昶 郭松壽 張文驊 郭睿

       摘要： 本發(fā)明公開(kāi)了一種利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法；該方法針對(duì)碳化硅基體，將金剛石磨料混入光刻膠溶液并將其超聲振蕩，利用旋轉(zhuǎn)甩膠均勻分散金剛石磨粒，實(shí)現(xiàn)其在基體襯底均勻分布，采用CVD方法在金剛石磨粒和碳化硅基體之間沉積金剛石涂層結(jié)合劑，將磨料與基體牢固的連結(jié)起來(lái)，同時(shí)磨粒生長(zhǎng)成為高品級(jí)立方八面體單晶顆粒。本發(fā)明制備的單層金剛石磨料工具磨粒把持力強(qiáng)，出露高度高，容屑空間大，避免了電鍍和釬焊單層金剛石磨料工具缺點(diǎn)，適用于制備細(xì)粒度(5?100μm)單層金剛石磨料工具。本發(fā)明制備的單層金剛石磨料工具在半導(dǎo)體、光學(xué)晶體、人造藍(lán)寶石、玻璃等脆硬材料的高精密磨削加工領(lǐng)域，具有廣闊應(yīng)用前景。        主權(quán)利要求：1.一種利用化學(xué)氣相沉積制備單層金剛石磨料工具的方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：S1、利用甩膠技術(shù)將分散有金剛石磨粒的光刻膠溶液分散在磨料工具基體上；S2、在分布有光刻膠和金剛石磨粒的基體表面CVD沉積金剛石涂層作為結(jié)合劑固結(jié)磨粒和基體；所述磨粒突出基體表面金剛石涂層的部分的高度為磨粒高度的55～80％。