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　　申請號：201710053477.X
　　申請人：朱勝利
　　發明人：朱勝利

　　摘要： 本發明屬于硅片表面處理技術領域，具體涉及一種金剛石線切割硅片的表面處理裝置及表面處理方法。該表面處理裝置包括一個頂部開口的磨蝕槽和兩個相對設置的第一磨蝕架、第二磨蝕架，磨蝕槽內填充有磨蝕顆粒懸浮液；第一磨蝕架上安裝有吸附裝置，第二磨蝕架上安裝有磨蝕裝置或者吸附裝置；吸附裝置用于吸附固定待處理的金剛石線切割硅片，磨蝕裝置上設置有平板狀或者圓輥狀的磨蝕面。本發明通過配制磨蝕顆粒懸浮液，利用磨蝕顆粒的不規則棱角對金剛石線切割硅片表面進行磨蝕處理，本發明完全采用機械磨蝕進行處理，而不需要使用強腐蝕性的酸、堿等化學物質，安全環保，處理效率高。 　　主權利要求：1.一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設備，其特征在于：其結構包括：加工主箱體(1)、空氣泵(2)、排氣管(3)、控制面板(4)、顯示屏(5)、進水管(6)、電源按鈕(7)、出貨口(8)、控制旋鈕(9)、控制按鈕(10)、底部支架(11)、出水管(12)、進貨口(13)、工作監視窗(14)，所述控制面板(4)的左上角設有顯示屏(5)，所述顯示屏(5)的右邊設有電源按鈕(7)，所述電源按鈕(7)的下方設有控制旋鈕(9)，所述控制旋鈕(9)的左邊設有控制按鈕(10)，所述加工主箱體(1)的左部設有進貨口(13)，所述加工主箱體(1)的右部設有出貨口(8)，所述加工主箱體(1)的上部設有空氣泵(2)，所述空氣泵(2)和排氣管(3)連接，所述空氣泵(2)的右邊設有進水管(6)，所述加工主箱體(1)的下方設有底部支架(11)，所述底部支架(11)的內部設有出水管(12)，所述加工主箱體(1)包括：加固箱體外壁(101)、打磨設備(102)、集氣管(103)、集氣斗(104)、增壓泵(105)、清洗水管(106)、集水箱(107)，所述加固箱體外壁(101)的內部的左部設有打磨設備(102)，所述集氣管(103)的右邊設有增壓泵(105)，所述增壓泵(105)的下方和清洗水管(106)連接，所述增壓泵(105)和進水管(6)固定連接。
　　2.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設備，其特征在于：所述加工主箱體(1)的前部設有工作監視窗(14)。
　　3.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設備，其特征在于：所述工作監視窗(14)的右邊設有控制面板(4)。
　　4.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設備，其特征在于：所述打磨設備(102)的右邊設有集氣管(103)，所述集氣管(103)的下方設有集氣斗(104)。
　　5.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛石切割線打磨去鎳配套設備，其特征在于：所述清洗水管(106)的下方設有集水箱(107)，所述集水箱(107)和出水管(12)連接。