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　　申請?zhí)枺?01621121129.9
　　申請人：蘇州賽爾科技有限公司
　　發(fā)明人：劉學(xué)明 冉隆光 陳昱

　　摘要： 本實(shí)用新型公開了一種金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，包括圓環(huán)形刀身，其特征在于所述圓環(huán)形刀身外圓周的刃口表面等角度間隔設(shè)有若干開槽，所述開槽的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.3~0.6；同時開槽兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.2~1.4。本實(shí)用新型的開槽利于刀片切割時的散熱和排屑，能夠提高切割速度和切割品質(zhì)，并且延長劃片刀使用壽命。 　　主權(quán)利要求：1.一種金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，包括圓環(huán)形刀身（1），其特征在于所述圓環(huán)形刀身（1）外圓周的刃口（2）表面等角度間隔設(shè)有若干開槽（3），所述開槽（3）的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.3~0.6；同時開槽（3）兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.2~1.4。
　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）的兩邊與底部圓弧過渡，該過渡處R1角弧度為0.5；同時開槽兩邊與刃口表面圓弧過渡，該過渡處的R2角弧度為1.32。
　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）深度h為圓環(huán)形刀身（1）徑向?qū)挾菻的1/10~1/5。
　　4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述圓環(huán)形刀身（1）的外徑D=180~200mm，內(nèi)徑d=140~160mm，所述開槽（3）寬度L為0.5~1.5mm。
　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述圓環(huán)形刀身（1）的外徑D=190~200mm，內(nèi)徑d=150~160mm，所述開槽（3）寬度L為0.8~1.5mm。
　　6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石輪轂型開槽晶圓劃片刀，其特征在于所述開槽（3）的數(shù)量為16~32個。