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　　申請號：201610844838.8
　　申請人：江蘇吉星新材料有限公司
　　發明人：胡孔林 王晨宇

　　摘要： 本發明提供的一種雙面研磨墊藍寶石窗口片減薄加工方法，包括了制片、安裝擺放墊與打孔、配制金剛石研磨液、加入金剛石研磨液、研磨與回收研磨液等步驟，步驟簡單，制備方便，采用聚氨酯墊配合金剛石研磨液的加工方法，利用聚氨酯研磨墊硬度較低，表面有許多小孔，在研磨的過程中金剛石顆粒可以鑲嵌在表面，有效的減少金剛石顆粒對晶片表面的磨損，有效的提高加工效率，提升晶片外觀質量，大大降低了成本并且可回收利用。

　　主權利要求：1.一種雙面研磨墊藍寶石窗口片減薄加工方法，其特征為，加工工藝如下：（1）制片：先通過切割將藍寶石工件制成藍寶石薄片，其中藍寶石薄片的厚度為400-500微米；（2）安裝擺放墊與打孔：將聚氨酯墊分別粘貼在上盤面與下盤面上，同時利用美工刀片對盤面上的流砂進行開孔；（3）配制金剛石研磨液：將5%的金剛石研磨液與95%自制懸浮液混合進行反應，在20℃-30℃下勻速攪拌15-45min，制備成金剛石研磨液；（4）加入金剛石研磨液：加入金剛石研磨液，金剛石研磨液的流量保持在10-20mL/min，使金剛石研磨液有效的分部在盤面的表面上；（5）研磨：打開研磨機進行研磨，研磨的時間為25-35min，研磨機的壓力為450-550kg，研磨機的轉速為25-35轉/min；（6）回收金剛石研磨液：研磨完成后對研磨機上的金剛石研磨液進行回收再利用。
　　2.如權利要求1所述一種雙面研磨墊藍寶石窗口片減薄加工方法，其特征為，所述的金剛石研磨液為河南聯合牌水性液，超純水為實驗室純水機自制超純水。