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　　申請號：201620451446.0
　　申請人：蘇州大學
　　發明人：於俊 黃天源 季佩宇 楊佳奇 金成剛 吳雪梅 諸葛蘭劍

　　摘要：本實用新型涉及一種螺旋波等離子體化學氣相沉積裝置，包括真空放電室、與所述真空放電室相連通的真空沉積室，所述真空放電室外環繞有線圈，所述真空放電室內設置有第一進氣管、右旋天線，所述右旋天線外套設有屏蔽筒，所述右旋天線的一端穿過一屏蔽管且與射頻電源相連接，所述真空沉積室內設置有基片臺、第二進氣管，所述真空沉積室通過管路連接有抽氣組件。本實用新型結構簡單、使用方便，通過在真空放電室內產生螺旋波等離子體，在真空沉積室內成功地得到了納米晶金剛石薄膜，制得的納米晶金剛石薄膜純度高、質量好，工業生產上容易實現，沉積速率快，不存在燈絲性能衰減的問題，而且操作簡單、易控制。 　　主權利要求：1.一種螺旋波等離子體化學氣相沉積裝置，其特征在于：包括真空放電室、與所述真空放電室相連通的真空沉積室，所述真空放電室外環繞有線圈，所述真空放電室內設置有第一進氣管、右旋天線，所述右旋天線外套設有屏蔽筒，所述右旋天線的一端穿過一屏蔽管且與射頻電源相連接，所述真空沉積室內設置有基片臺、第二進氣管，所述真空沉積室通過管路連接有抽氣組件。