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　　申請號: 201420081730.4

　　申請人: 湖南中航超強金剛石膜高科技有限公司

　　摘要：本實用新型涉及一種多層噴氣式金剛石膜涂層設備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于所述涂層室內設置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進氣管、氣體儲存室、溫度控制器、電磁閥、加壓泵、噴氣管道、噴氣頭以及噴氣細管。本實用新型可實現涂層室內各個位置的均勻噴氣，保證工件涂層質量一致，同時還具有調節溫度、可自動化操控的優點。

　　主權利要求：1.多層噴氣式金剛石膜涂層設備，包括涂層室、工件架、抽真空裝置，其特征在于：所述涂層室內設置有多層噴氣裝置，所述多層噴氣裝置包括進氣管、氣體儲存室、溫度控制器、電磁閥、加壓泵、噴氣管道、噴氣頭以及噴氣細管，所述氣體儲存室的下部設有溫度控制器，所述溫度控制器的輸入端與氣體儲存室相連，輸出端通過安裝在管路上的加壓泵與噴氣管道連接，噴氣管道上設有多個帶電磁閥和噴氣頭的噴氣支路，所述噴氣頭連通有多個噴氣細管。

　　2.根據權利要求1所述的多層噴氣式金剛石膜涂層設備，其特征在于：所述的噴氣支路均勻分布于涂層室的內壁，每條噴氣支路的噴氣頭連通有多根噴氣細管。