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      一種碳化硅晶片的雙面拋光方法

      申請號:201610071886.8申請人:北京華進創威電子有限公司發明人:詹琳摘要:本發明一種碳化硅晶片雙面拋光方法,包括將碳化硅晶片在雙面拋光機依次進行粗拋光、半精...

      日期 2016-07-18   
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