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      采用熱絲化學(xué)氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

      采用熱絲化學(xué)氣相沉積法研究鑲嵌單晶金剛石晶片上硼摻雜層的水平和垂直均勻性

      為了開發(fā)英寸級(jí)金剛石加工技術(shù),采用熱絲化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)在鑲嵌單晶金剛石片上生長(zhǎng)了硼摻雜層,與微波等離子...

      日期 2022-06-08   
      微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)單晶金剛石用的沉積臺(tái)

      微波等離子體化學(xué)氣相沉積法生長(zhǎng)單晶金剛石用的沉積臺(tái)

      申請(qǐng)?zhí)?201720707933.3申請(qǐng)日:2017.06.16申請(qǐng)人:北京科技大學(xué)發(fā)明人:李成明;趙云;林亮珍...

      日期 2018-01-08   
       一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

      一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

      申請(qǐng)?zhí)?201720527928.4申請(qǐng)日:2017.05.12申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所發(fā)明人...

      日期 2017-12-22   
      一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

      一種用于微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備金剛石膜的基片臺(tái)

      申請(qǐng)?zhí)枺?01710334592.4申請(qǐng)人:中國(guó)工程物理研究院應(yīng)用電子學(xué)研究所發(fā)明人:李文君周霖程云馮真李春霞單...

      日期 2017-07-14   

      離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

      離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬
      離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬
      離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

      摘要:本研究利用離子束輔助氣相沉積法(IBAD)對(duì)曲面襯底上沉積出的立方氮化硼(CBN)薄膜厚度分布進(jìn)行模擬。沉積參數(shù)條件如下:(i)硼到達(dá)率為3.2?/s,(ii)離...

      日期 2017-06-01   
      混合物理化學(xué)氣相沉積法在SiC襯底上制備MgB2超導(dǎo)薄膜

      混合物理化學(xué)氣相沉積法在SiC襯底上制備MgB2超導(dǎo)薄膜

      作者:J.M.Redwing,J.Lettieri,V.Vaithyanathan,D.G.Schlom,Zi-...

      日期 2016-01-27   

      熱解化學(xué)氣相沉積法合成金剛石薄膜特點(diǎn)

      答:熱解化學(xué)氣相沉積法合成金剛石薄膜的特點(diǎn)是:(1)所有組織的金剛石薄膜是由金剛石結(jié)構(gòu)的晶粒組成,晶粒度在0.1~10um之間。(2)有的金剛石薄膜直接由單晶或?qū)\晶組成...

      日期 2012-12-03   

      金屬所大尺寸單晶石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其無(wú)損轉(zhuǎn)移取得重要進(jìn)展

      金屬所大尺寸單晶石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其無(wú)損轉(zhuǎn)移取得重要進(jìn)展
      金屬所大尺寸單晶石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其無(wú)損轉(zhuǎn)移取得重要進(jìn)展
      金屬所大尺寸單晶石墨烯的化學(xué)氣相沉積法制備及其無(wú)損轉(zhuǎn)移取得重要進(jìn)展

      最近,金屬所沈陽(yáng)材料科學(xué)國(guó)家(聯(lián)合)實(shí)驗(yàn)室先進(jìn)炭材料研究部的成會(huì)明、任文才研究員帶領(lǐng)的石墨烯研究團(tuán)隊(duì)在大尺寸單晶石墨烯及其薄膜的制備和無(wú)損轉(zhuǎn)移方面取得重要進(jìn)展。相關(guān)論文...

      日期 2012-03-01   

      化學(xué)氣相沉積法碳化硅連續(xù)纖維用碳芯的制備方法

      名稱化學(xué)氣相沉積法碳化硅連續(xù)纖維用碳芯的制備方法公開號(hào)1103904公開日1995.06.21主分類號(hào)D01F9/155

      日期 2010-12-22   
        共 9 條記錄

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