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離子束輔助氣相沉積法在曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

摘要：本研究利用離子束輔助氣相沉積法（IBAD）對(duì)曲面襯底上沉積出的立方氮化硼（CBN）薄膜厚度分布進(jìn)行模擬。沉積參數(shù)條件如下：（i）硼到達(dá)率為3.2?/s，（ii）離...

日期 2017-06-01

CBN / 氣相沉積法

曲面襯底沉積CBN薄膜的厚度分布模擬

作者：T.Kobayashi,R.Valizadeh,J.S.Colligon,H.Kanematsu,K.Mo...

日期 2015-12-22

離子束 / 曲面襯底 / CBN / 薄膜

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