超硬材料網

       6月3日，深圳市科技創新委員會發布關于2020年第一批技術攻關重點項目（智能裝備專項）申請指南的通知。中國超硬材料網記者從申報指南中獲悉，深圳實施技術攻關重點項目旨在增強深圳高新技術產業核心競爭力，提升產業整體自主創新能力，突破關鍵零部件等產業發展共性關鍵技術。對深圳市高新技術產業重點領域、優先主題、重點專項的關鍵技術攻關予以資助，單個項目資助強度最高不超過1000萬元。

       通過梳理發現，金剛石刀具刃磨質量在線監測系統研發、半導體大尺寸硅片邊緣精密拋光機的研發、半導體高精度刀輪切割機關鍵技術研發等超硬材料項目成為重點攻關目標。

       據了解，此次網上申報受理時間從6月5日持續至6月30日，申報單位申報時需在深圳市科技業務管理系統完成提交。
申報技術攻關重點項目資助的牽頭單位應當是在深圳市(含深汕特別合作區)內依法注冊、具有獨立法人資格，且2019年度營業收入在2000萬元以上(含2000萬元)的國家或深圳市高新技術企業、技術先進型服務企業。
       對于采用聯合申報方式的申請者，鼓勵產學研用合作攻關，牽頭單位2019年度營業收入不足1億的，參與單位應有1家企業2019年度營業收入在1億以上(含1億元)。國內(含港澳)具有獨立法人資格的高校、科研機構和企業可作為合作單位參與項目。
       其中超硬材料項目及研發內容、指標如下：

       高精度金剛石工具磨床關鍵技術研發

       一、主要研發內容

       （一）金剛石刀具刃磨機理與加工工藝優化； 

       （二）高精度空氣靜壓磨床主軸研發；

       （三）高精度氣浮回轉工作臺研發； 

       （四）金剛石刀具刃磨質量在線監測系統研發。
       二、項目考核指標（項目執行期內）

       （一）經濟指標：實現銷售收入（或量產應用）≥2000萬 元。

       （二）學術指標：申請專利≥8件，其中發明專利≥4件。

       （三）技術指標：

       1.砂輪主軸組件：

       （1）最高轉速≥10000rpm，支持雙向旋轉與無級調速；

       （2）端面跳動≤0.5μm；

       （3）徑向跳動≤0.5μm；

       （4）可搭載砂輪直徑≥150mm。

       2.旋轉工作臺組件：

       （1）端面跳動≤0.1μm；

       （2）徑向跳動≤0.1μm；

       （3）回轉定位精度≤0.001rad；

       （4）直線進給精度≤1μm；

       （5）恒力進給機構:0-450N。

       3.刀具及缺陷檢測指標：

       （1）刀具加工面粗糙度Ra≤0.02μm；

       （2）刀具刃口崩缺≤0.1μm；

       （3）刀具缺陷檢出率≥90%；

       （4）刀具缺陷檢出時間≤3秒。
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元

       半導體大尺寸硅片邊緣精密拋光機的研發

       一、主要研發內容 

       （一）超聲波輔助邊緣拋光裝置的研發；

       （二）拋光鼓加壓系統設計與壓力精確控制；

       （三）拋光系統硅片邊緣的拋光工藝研究； 

       （四）硅片自動上下料機器人系統的研發。 
       二、項目考核指標（項目執行期內）

        （一）經濟指標：實現銷售收入（或量產應用）≥2000萬 元。 

       （二）學術指標：申請專利≥8件，其中發明專利≥4件。

        （三）技術指標：

        1.適用硅片尺寸：直徑200mm(8寸)和300mm(12寸)；

        2.每小時產量：單機≥50片；

        3.拋光時間≤30秒，加持對位時間≤32秒；

        4.邊緣加工后粗糙度要求（1 ANG= 0.1 nm）：

       （1）A-CF(上斜面)≤4.77 ANG； 

       （2）B-CF（下斜面）≤3.71 ANG；

       （3）TOP（正側面）≤5.57 ANG。 
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元

       半導體高精度刀輪切割機關鍵技術研發

       一、主要研發內容 

       （一）高速氣浮電主軸研發與靜動態性能研究；

       （二）高速高精度多維平臺和快速響應硬件系統研發；

       （三）高速刀輪切割工藝參數的優化與配置研究；

       （四）刀輪機視覺檢測系統開發與檢測算法研究。
       二、項目考核指標（項目執行期內）

       （一）經濟指標：實現銷售收入（或量產應用）≥2000萬 元。

       （二）學術指標：申請專利≥8件，其中發明專利≥4件。

       （三）技術指標：

       1.主軸最大轉速≥30000rpm；

       2.裸軸振動≤0.1mm/s @30000rpm；

       3.行程：X/Y1/Y2/Z/θ軸 為 650mm/550mm/550mm/30mm/380°；

       4.重復性：Y/Z軸≤1μm，θ軸≤3 arcsec；

       5.直線度：X軸≤2μm；

       6.檢測指標：

       （1）刀破檢測范圍≥0.5mm；

       （2）測高精度≤2μm；

       （3）崩邊檢出≥5μm；

       （4）飛拍檢測≥400mm/s。
       三、項目實施期限：3年

       四、資助金額：不超過1000萬元
       原文鏈接：http://stic.sz.gov.cn/xxgk/tzgg/content/post_7724163.html