本實用新型涉及一種改進結構的研磨盤,研磨盤主要有一基板結合于研磨機具上,基板異于研磨機具一側結合一主盤體,主盤體異于基板一側貼合一具通孔的研磨層,主盤體朝研磨層一側設有一環溝,環溝周緣設有數約朝研磨盤旋轉切線方向傾斜延伸出外緣的導槽,環溝上穿設有數排塵孔,且基板相對各排塵孔位置設有穿 孔。藉此,研磨盤旋轉研磨時,傾斜的導槽可使氣流竄入,有效提高排除研磨中灰塵的效率。
本實用新型涉及一種改進結構的研磨盤,研磨盤主要有一基板結合于研磨機具上,基板異于研磨機具一側結合一主盤體,主盤體異于基板一側貼合一具通孔的研磨層,主盤體朝研磨層一側設有一環溝,環溝周緣設有數約朝研磨盤旋轉切線方向傾斜延伸出外緣的導槽,環溝上穿設有數排塵孔,且基板相對各排塵孔位置設有穿 孔。藉此,研磨盤旋轉研磨時,傾斜的導槽可使氣流竄入,有效提高排除研磨中灰塵的效率。
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