該儀器的使用不如光學顯微鏡和X射線顯微分析那么普遍，僅限于科研單位，院校和少數企業。
該設備的特點是配備特殊的顯示和程序，用這種設備可以進行組織觀察，照片記錄。同時也可以定時定量確定視場中第二相粒子的面積，點數，也可以進行視場中某一區域的局部分析，可采用附帶的光筆把需要分析的區域圈好，專門分析觀察圈好的部分，分析結束可以隨時抹掉。
該設備對試樣要求很高，要精確制備，作定量分析必須如此，否則會帶來較大的誤差，其使用方法和機理不作詳細介紹。
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