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官方微信摘要 摘要：本文概述了硬脆材料切割中使用金剛石絲鋸切割的方法優(yōu)點(diǎn)；介紹了金剛石絲鋸在光伏領(lǐng)域切割多晶硅環(huán)節(jié)的應(yīng)用；在電子產(chǎn)業(yè)上游晶圓切割等環(huán)節(jié)的推廣，特別是藍(lán)寶石切割將是金剛石切割線又一...
摘要：本文概述了硬脆材料切割中使用金剛石絲鋸切割的方法優(yōu)點(diǎn)；介紹了金剛石絲鋸在光伏領(lǐng)域切割多晶硅環(huán)節(jié)的應(yīng)用；在電子產(chǎn)業(yè)上游晶圓切割等環(huán)節(jié)的推廣，特別是藍(lán)寶石切割將是金剛石切割線又一新興領(lǐng)域；金剛石絲鋸與傳統(tǒng)線鋸的比較；金剛石絲鋸的制備工藝。關(guān)鍵詞：硬脆材料、金剛石絲鋸、鋼線鋸、切割
硬脆材料是指硬度高、 脆性大的材料,通常為非導(dǎo)電體或半導(dǎo)體, 如:各種石材、寶石、玻璃、硅晶體、石英晶體、硬質(zhì)合金、陶瓷和稀土磁性材料等。隨著工業(yè)的發(fā)展, 硬脆材料在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛，且其加工精度與技術(shù)條件的要求越來(lái)越高。傳統(tǒng)的刀具材料，如高速鋼、硬質(zhì)合金、陶瓷等常不能滿足上述加工的需要，而必須采用超硬材料刀具。在硬脆材料的各種加工方法中, 切割加工占有很重要的地位,對(duì)脆性材料的切割大致有以下要求:高效率、低成本、高精度、窄切縫、小翹曲變形、低表面損傷、低碎片率、無(wú)環(huán)境污染等是目前半導(dǎo)體和光電晶體的切割加工的新趨勢(shì)[1、2]。精密切割加工作為制備半導(dǎo)體和光電晶體基片的主要加工工藝之一，在微電子、光電子器件的制造過(guò)程中占有很高的地位。
近十幾年來(lái)，隨著超硬材料的迅速崛起，硬脆材料的切割加工發(fā)展較快，新工藝、新設(shè)備、新方法不斷涌現(xiàn)。超硬材料主要指金剛石和立方氮化硼( CBN)，它們以單晶、聚晶及薄膜等形式出現(xiàn)，是當(dāng)今世界高科技領(lǐng)域中最有活力、最有前景的材料之一。金剛石是世界上已知最硬的物質(zhì)，并具有高導(dǎo)熱性、高絕緣性、高化學(xué)穩(wěn)定性等多種優(yōu)良性能，可用于鋁、銅等有色金屬及其合金的高效精密加工，特別適用于加工硬脆非金屬材料[3]。
一．硬脆材料的切割方法
當(dāng)前,按切割工具形狀分，硬脆晶體材料切割方法有金剛石圓鋸切割、帶鋸切割、線鋸切割[4、5]。
（一）金剛石圓鋸片切割
金剛石圓鋸片分為金剛石外圓據(jù)和金剛石內(nèi)圓鋸兩種。金剛石外圓鋸切割技術(shù)是應(yīng)用較早的切割方法，外園周上電鍍金剛石的圓鋸片直徑在200mm左右，最大可達(dá)400mm。多用于寶石、石英、鐵氧體、陶瓷等材料的切斷、切槽等。優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作容易、刀片價(jià)格便宜；缺點(diǎn)是：刀片較厚、鋸口寬、材料損耗較大、切割面的平行度較差、只能切割小直徑或較薄工件。
金剛石內(nèi)圓鋸切割技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是：1.剛性好，可做的很薄，達(dá)到0.1mm；2.切片精度高，直徑200mm晶片的厚度差僅為0.01mm；3.設(shè)備低廉，所用切割機(jī)價(jià)格僅為其它工具多使用切割機(jī)價(jià)格的1/3～1/4；4.每片都可以進(jìn)行徑向調(diào)整和切片厚度的調(diào)整；5.小批量多規(guī)格加工時(shí)，具有靈活的可調(diào)性。缺點(diǎn)是：1.切片表面損傷層較大；2.刀口寬，材料損失大；3.生產(chǎn)率低，每次只切割一片；4.只能切割直線，無(wú)法切割曲面；5.只能切割直徑小于200mm的晶片。
（二）金剛石帶鋸
分為鋼帶據(jù)、金剛石帶鋸、鋼片鋸三種。金剛石帶鋸是以電鍍金剛石磨料或鑲焊金剛石燒結(jié)塊為主題的環(huán)形鋸條，帶鋸出現(xiàn)于20世紀(jì)50年代，我國(guó)八十年代才開(kāi)始研制該類設(shè)備。優(yōu)點(diǎn)是：鋸切速度快，刀具材料消耗少，噪音小。缺點(diǎn)是：鋸口大，切割精度低，對(duì)荒料要求規(guī)整，不能進(jìn)行多片切割。
（三）金剛石線鋸分為鋼絲鋸、金剛石串珠鋸、金剛石絲鋸三種。
1.鋼絲鋸分為單線式和多線式兩種，但常用多線式。多線式鋼絲鋸是利用一根鋼絲纏繞在一組鋸絲導(dǎo)輪上，形成一排以一定間隔排列的切割線。切割時(shí)鋼絲按一定方向運(yùn)動(dòng)，同時(shí)工件和鋼絲相互壓緊，當(dāng)含有游離磨料的切割液澆注到工件和鋸絲之間時(shí)，鋸絲快速運(yùn)動(dòng)將切割液帶入工件切縫，產(chǎn)生切削作用。常用的游離磨料為碳化硅；切割液通常為磨料和礦物油按一定比例混合而成。鋼絲鋸的主要特點(diǎn)為：切縫窄,目前最小切縫可達(dá)0.2mm，切片量大，切片成本低；但可靠性差，鋼絲耐用度低。
2. 金剛石串珠鋸是近十幾年發(fā)展較快的切割工具。它產(chǎn)生于70 年代，最初應(yīng)用于石材的開(kāi)采，后來(lái)廣泛應(yīng)用于建筑物、橋梁等混凝土結(jié)構(gòu)的拆除和改造，也用于切割玻璃等材料[6、7]。
金剛石串珠鋸由鋼絲繩芯、金剛石串珠和隔離套組成，串珠以一定間隔穿在繩芯上，并由隔離套分開(kāi)。串珠鋸的性能，如切割效率、使用壽命等主要取決于金剛石串珠的物理和機(jī)械特性。傳統(tǒng)的串珠有兩種制造方法，電鍍和熱壓燒結(jié)。最早金剛石串珠是通過(guò)電鍍的方法制造的，1983年以后開(kāi)始用燒結(jié)法生產(chǎn)[8]。前者只有一層金剛石磨料, 開(kāi)始時(shí)切割速度較快,但磨損速度也較快；而后者的金剛石磨料可以不斷的更新,切割速度較慢，但使用壽命長(zhǎng)。這兩種串珠的共同缺點(diǎn)是金剛石磨粒為隨機(jī)分布，分布不均。文獻(xiàn)[8]介紹了一種焊接式金剛石串珠，金剛石磨粒可按一定方向較均勻地分布，取得了較好的應(yīng)用效果。金剛石串珠鋸不但能切割直面，而且還能切割曲面，切割板料時(shí)，還可進(jìn)行多道串珠鋸切割，生產(chǎn)效率非常高。因此，其作用非常廣泛，但受到串珠直徑的限制，切縫比較寬。因此，目前還不能用于細(xì)微結(jié)構(gòu)和貴重材料的切割加工。
3. 金剛石線鋸是將高硬度、 高耐磨性的金剛石磨粒牢固地電鍍?cè)阡摻z基體上面制成的一種切割工具。金剛石線鋸亦有單線式和多線式兩種。金剛石多線鋸的切割運(yùn)動(dòng)形式類似于鋼絲鋸。主要用于切斷加工。切割時(shí)鋸絲從一個(gè)絞輪繞到另一個(gè)絞輪上,可實(shí)現(xiàn)中等速度的切割, 但同鋼絲鋸一樣,鋸絲必須有足夠的長(zhǎng)度,對(duì)絞輪的強(qiáng)度要求也較高。鋸絲張緊力的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)較繁瑣[9]。80 年代中期,英國(guó)有人做出一種多線式線鋸[10], 該鋸驅(qū)動(dòng)裝置由梭形絞盤組成, 盤槽中緊緊纏著100~200 英尺長(zhǎng)的切割線。這種工具可鋸割金屬陶瓷、玻璃、石英等脆性物質(zhì), 且線拉得越直切割效果越好。英國(guó)Ahlbury Technical Equipment Corp.公司生產(chǎn)的金剛石線鋸也為多線式。該鋸可切割任意材料,切口表面光潔,無(wú)崩刃現(xiàn)象發(fā)生[11]。多線往復(fù)式金剛石切割優(yōu)點(diǎn)是：1.能進(jìn)行大尺寸工件切片；2.能多件多片同時(shí)切割，產(chǎn)量高；3.能切精密窄縫，適合切割貴重材料，切割直徑只比鋸絲直徑大0.01～0.015mm；
4.切割脆軟材料，保證邊緣不破損；
5.切割時(shí)溫度低，切片加工變質(zhì)層淺，可用來(lái)切割易炸裂材料；線鋸使用壽命長(zhǎng)；
6.環(huán)境污染小。
單線切割的金剛石線鋸分為往復(fù)式金剛石線鋸和環(huán)形回轉(zhuǎn)式金剛石線鋸；多線切割的金剛石線鋸分為往復(fù)式金剛石線鋸。
環(huán)形回轉(zhuǎn)式線鋸是被焊接為環(huán)形，可通過(guò)導(dǎo)輪實(shí)現(xiàn)循環(huán)切割。優(yōu)點(diǎn)：1.整個(gè)鋸絲長(zhǎng)度均可參與切割；2.使用壽命長(zhǎng)；3.切割速度高（高達(dá)10～20m/s）。缺點(diǎn)：在線鋸切割內(nèi)曲面時(shí)必須先切割一條引線槽。
單線往復(fù)式金剛石線鋸切割機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適應(yīng)性好，可進(jìn)行內(nèi)外表面的切割加工；可以自由改變切割方向及傾斜角度，進(jìn)行精確的復(fù)雜輪廓切割。缺點(diǎn)是鋸絲的有效工作強(qiáng)度受限制，鋸絲利用率不高，切割速度較低（一般2～3m/s）。
二.多晶硅切割作為金剛石應(yīng)用新領(lǐng)域
作為新興能源代表產(chǎn)業(yè)之一的太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)是金剛石工具潛在的巨大應(yīng)用新領(lǐng)域之一。目前各國(guó)政府都在積極發(fā)展清潔能源，隨著技術(shù)提升成本下降以及各國(guó)積極光伏政策的推出，預(yù)計(jì)光伏行業(yè)將恢復(fù)快速發(fā)展。根據(jù) EPIA 預(yù)測(cè)光伏市場(chǎng)將在今后5年里保30%～40%的快速增長(zhǎng)，其后10年的增長(zhǎng)速度也將達(dá)到20%～30%。硅片就是制造光伏電池的基板。硅片切割是太陽(yáng)能光伏電池制造工藝中的關(guān)鍵部分。該切割工藝用于處理單晶硅或者多晶硅的固體硅錠。光伏產(chǎn)業(yè)專用微米鉆石線首先把硅錠切成方塊，然后切成很薄的硅片。光伏行業(yè)發(fā)展也將帶動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)專用微米鉆石線的快速發(fā)展。金剛石帶鋸、磨具已廣泛應(yīng)用在硅錠開(kāi)方、研磨等制造環(huán)節(jié)，但總體用量比較有限。而目前已初步產(chǎn)業(yè)化的金剛石切割線在多晶硅切片環(huán)節(jié)的應(yīng)用，將有望造就一個(gè)百億級(jí)容量的新興市場(chǎng)。
圖1 金剛石工具在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用（Noritake 公司圖示）
（一）20 世紀(jì) 90 年代，為了解決大尺寸硅片的加工問(wèn)題，采用了線鋸加工技術(shù)將硅棒切割成片。早期的線鋸加工技術(shù)是采用金屬線和游離的磨料，在加工過(guò)程中，將磨料，加入到金屬線和加工件之間產(chǎn)生切削作用。為了進(jìn)一步縮短加工時(shí)間，以及對(duì)其它堅(jiān)硬物質(zhì)和難以加工的陶瓷進(jìn)行加工，將金剛石磨料以一定的方式固定到金屬線上，從而產(chǎn)生了固定金剛石線鋸[12] 。金剛石高效耐久的加工特性，顯著降低了生產(chǎn)能耗。如在陶瓷研磨拋光領(lǐng)域，與傳統(tǒng)工藝碳化硅磨塊比較，磨削拋光過(guò)程中金剛石磨塊平均壽命提高100倍以上，磨削效率提高20%，消耗成本、電力消耗、排放污染物分別是普通磨塊的 75%、60%、1%。在光伏產(chǎn)業(yè)的多晶硅切割環(huán)節(jié)中，金剛石切割線工藝相較傳統(tǒng)的鋼絲線切割，節(jié)省了切割液中添加游離刃料的工序，從而使高污染的切割液得以回收循環(huán)使用。
（二）在光伏領(lǐng)域，為了滿足市場(chǎng)對(duì)于更低成本和更高生產(chǎn)力的要求，微米鉆石線技術(shù)的研究和產(chǎn)業(yè)化，將進(jìn)一步降低了切割過(guò)程中的材料損耗，從而減少了太陽(yáng)能電力的硅材料消耗量[13]。
1. 金剛石線鋸與傳統(tǒng)鋼線切割工藝相比較，金剛石線切割基于切割工藝的改進(jìn)，可實(shí)現(xiàn)：
高效率切割：與歷來(lái)的游離磨料形式相比，切割效率提升140%；
成品率提高：硅片切割精度保持穩(wěn)定，減少了加工變質(zhì)層；
綜合成本節(jié)余：較傳統(tǒng)工藝降低綜合成本約26%。
節(jié)能環(huán)保：大幅度減少?gòu)U線鋸,廢砂漿的產(chǎn)生：切割砂漿可以循環(huán)利用，切割粉屑便于回收。
（a）傳統(tǒng)鋼絲、砂漿切割示意圖 （b） 金剛石線切割示意圖
圖2傳統(tǒng)鋼絲與金剛石線切割示意圖
2. 金剛石線鋸與傳統(tǒng)鋼線切割原理差異見(jiàn)表1：
表1 金剛石線與傳統(tǒng)鋼線切割原理差異
3. 金剛石線鋸與其它鋸比較獨(dú)有特點(diǎn)：
可用于對(duì)電子放電加工EDM無(wú)法加工的非導(dǎo)體進(jìn)行加工；金剛石線鋸纏繞在滾筒周圍，可以同時(shí)對(duì)加工件(如硅棒)進(jìn)行多次切割，并且可以同時(shí)對(duì)多個(gè)加工件進(jìn)行加工；由于燒結(jié)金剛石線鋸串珠之間存在間距，間距部分可能過(guò)早地磨損導(dǎo)致鋼絲的斷裂[14]，而電鍍金剛石線鋸中金剛石的連續(xù)分布，可避免線鋸的過(guò)早斷裂；與圓鋸和帶鋸相比，線鋸能靈活地改變切割方向，可以用于加工復(fù)雜的幾何形狀；由于線鋸直徑小，加工時(shí)切口損失小，這對(duì)于成本昂貴的半導(dǎo)體和寶石的加工具有重要的意義[15]。
（三）國(guó)內(nèi)金剛石線產(chǎn)品處于研發(fā)階段，存在數(shù)項(xiàng)技術(shù)障礙：
線徑較粗，切割耗材損耗較大（金剛石線0.15mm與鋼絲線 0.11mm）；線痕明顯，影響硅片轉(zhuǎn)換效率；金剛石料與切割線基體附著力度不足，易于脫落。考慮到海外成功產(chǎn)品的示范效應(yīng)，及國(guó)內(nèi)下游光伏企業(yè)積極試用以求跟隨先進(jìn)技術(shù)的姿態(tài)，預(yù)計(jì)金剛石線在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的成熟產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用也即將展開(kāi)[16]。
三．電子產(chǎn)業(yè)—LED是金剛石線鋸又一綠地
目前電子業(yè)中新生的LED電子產(chǎn)業(yè)將成為金剛石工具應(yīng)用的一片新生綠地。金剛石工具，特別是金剛石切割線在LED藍(lán)寶石基片制造流程的應(yīng)用與其在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用極其類似。并且依據(jù)業(yè)內(nèi)反饋，藍(lán)寶石加工的精度要求尚低于光伏領(lǐng)域，金剛石工具的推廣難度低。參考業(yè)界預(yù)測(cè)藍(lán)寶石基片未來(lái)將保持60%以上的高速增長(zhǎng)，雖缺乏經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)測(cè)算隨之產(chǎn)生的金剛石工具具體的市場(chǎng)規(guī)模，參考2010 年LED全球預(yù)測(cè)產(chǎn)值約為100億美元，隨之產(chǎn)生的金剛石工具消費(fèi)量有望達(dá)到億美元之上。
四．金剛石線鋸的制備技術(shù)
金剛石線鋸中金剛石磨料的固結(jié)方式有滾壓嵌入式、擠壓或沖壓方式、金屬結(jié)合劑固結(jié)（釬焊）、金屬結(jié)合劑固結(jié)（電鍍）、樹(shù)脂結(jié)合劑固結(jié)。
（一）滾壓嵌入方法
這種方法是將超硬磨料通過(guò)機(jī)械作用滾壓嵌入到鋼絲集體中，美國(guó)專利4485757曾提出一種用滾壓嵌入方式制備連續(xù)金剛石線鋸的工藝，此種工藝制備的金剛石線鋸的金剛石涂層直徑均勻而厚度及線徑不均勻，很難生產(chǎn)出大于120米長(zhǎng)的金剛石線。并且，通過(guò)機(jī)械作用將超硬磨料滾壓嵌入到鋼絲基體中，還大大降低了鋼絲的強(qiáng)度。
（二）擠壓或沖壓方法
這種方法是通過(guò)兩維以上的沖擠壓頭模，將金剛石顆粒擠壓、沖壓進(jìn)鋼絲線的表面以下，然后在沖擠壓形成的金剛石線的表面，涂敷一層1～10μm的金屬、非金屬材料。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可以形成自動(dòng)化生產(chǎn)線，可以制備長(zhǎng)度60公里以上、直徑均勻，抗磨性好的連續(xù)金剛石線，生產(chǎn)成本低。
這種方法的缺點(diǎn)給滾壓方式一樣，由于金剛石顆粒直接沖壓進(jìn)鋼絲表面會(huì)大大降低鋼絲的強(qiáng)度。
（三）樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石線鋸制造工藝
對(duì)于樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石線鋸的制造工藝—熱固性樹(shù)脂固結(jié)方法，日本大阪府的住友電氣工業(yè)株式會(huì)社和大阪金剛石工業(yè)株式會(huì)社的上崗勇夫等人共同申請(qǐng)的一項(xiàng)專利，該線鋸的特征是在高強(qiáng)度芯線上有粘結(jié)劑固定磨料磨粒和填料，磨料尺寸不小于樹(shù)脂粘結(jié)層厚的三分之二，填料尺寸小、粘結(jié)劑厚度的三分之二。線鋸制作中的樹(shù)脂固化需要加熱和燒結(jié)工序，因此，線鋸制造速度只能提高到每分鐘十米左右。
目前，樹(shù)脂結(jié)合劑金剛石線鋸的線徑已經(jīng)小于0.2mm，由于制程溫度遠(yuǎn)低于硬焊，線材不會(huì)因?yàn)楦邷囟a(chǎn)生變形造成抗拉強(qiáng)度的衰減，對(duì)于縮小線徑有很大幫助。雖然樹(shù)脂對(duì)金剛石磨料的把持力不如硬焊好，但制程成本低、線徑小、耗材率低等優(yōu)勢(shì)。
（四）電鍍金剛石線鋸
1.復(fù)合電鍍技術(shù)
復(fù)合電鍍技術(shù)是通過(guò)金屬電化學(xué)方法，將一種或數(shù)種不溶性的固體顆粒，均勻地夾雜到金屬鍍層中所形成的特殊鍍層就是復(fù)合鍍層。這種制備復(fù)合鍍層的方法稱為復(fù)合電鍍[17]。這種技術(shù)在國(guó)外也還有一些其他名稱。例如彌散電鍍、鑲嵌電鍍、分散電鍍和組合電鍍等等。
2.超硬材料復(fù)合電鍍工藝
以超硬材料作為分散微粒，與金屬形成的金屬鍍層，稱為超硬材料復(fù)合鍍層。超硬材料的復(fù)合電鍍不是一步完成的，對(duì)于大多數(shù)超硬材料電鍍制品來(lái)說(shuō)，一般包括預(yù)鍍，上砂鍍，加厚度和光亮鍍等幾個(gè)步驟。
超硬材料復(fù)合鍍層結(jié)構(gòu)比一般復(fù)合鍍層更復(fù)雜一些，包括底鍍層、上砂鍍層、加厚鍍層和光亮鍍層四個(gè)部分
3.電鍍金剛石線鋸性能評(píng)價(jià)
對(duì)金剛石線鋸的性能檢查要考慮以下兩個(gè)方面：一是對(duì)電鍍金剛石線鋸表面鍍層的檢查，包括鍍層外觀質(zhì)量檢查、線鋸幾何尺寸檢查、金剛石磨粒的固結(jié)強(qiáng)度檢查。二是對(duì)電鍍金剛石線鋸的機(jī)械力學(xué)綜合性能的檢測(cè)，包括抗拉強(qiáng)度特性和延伸率、斷裂扭曲特性、彎曲性能等。
4.電鍍金剛石線鋸技術(shù)現(xiàn)狀和研究方向
電鍍金剛石線鋸生產(chǎn)技術(shù)在國(guó)外已經(jīng)非常成熟，并且申請(qǐng)了多項(xiàng)生產(chǎn)專利。國(guó)內(nèi)對(duì)電鍍金剛石線鋸生產(chǎn)技術(shù)的研究還處于起步階段，使用的電鍍金剛石線鋸主要依賴進(jìn)口。
電鍍金剛石線鋸受到極大關(guān)注，目前研究方向[18]：
1.研究電鍍金剛石線鋸用的基體，主要是鋼絲基體，對(duì)其他基體的研究比較少，基體材料比較單一，因此進(jìn)一步拓展電鍍金剛石線鋸用的基體成為研究方向之一。
2.由于目前常用的電鋸金剛石線鋸的使用壽命不盡如人意，進(jìn)一步增強(qiáng)結(jié)合劑對(duì)金剛石的把持力，開(kāi)發(fā)更加持久、耐用的金剛石線鋸成為研究方向之一。
3.目前常用的制備電鍍金剛石線鋸的電鍍技術(shù)需要時(shí)間較長(zhǎng)，進(jìn)一步加強(qiáng)電鍍技術(shù)的研究，縮短制備周期和降低制造成本也成為研究方向之一。
五．結(jié)論
“十二五”期間，預(yù)計(jì)我國(guó)將在工業(yè)各領(lǐng)域進(jìn)一步提高節(jié)能環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，客觀推動(dòng)了金剛石工具的推廣。金剛石線鋸在國(guó)內(nèi)光伏領(lǐng)域的推廣擁有數(shù)項(xiàng)天然優(yōu)勢(shì)：我國(guó)作為全球最主要的光伏生產(chǎn)基地地位；光伏產(chǎn)業(yè)整體處于高速發(fā)展階段；市場(chǎng)集中度較高，單位企業(yè)采購(gòu)量大，易于產(chǎn)品推廣。國(guó)內(nèi)金剛石工具有望于光伏產(chǎn)業(yè)的高速成長(zhǎng)期成功推向市場(chǎng)，帶動(dòng)國(guó)內(nèi)潛在進(jìn)入金剛石線制造領(lǐng)域企業(yè)，并間接帶動(dòng)金剛石原料生產(chǎn)企業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展。
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作者簡(jiǎn)介：張登峰,1981.10，男，漢，內(nèi)蒙古化德縣人，北方材料科學(xué)與工程研究院有限公司包頭研究所，碩士研究生，主要從事金屬材料表面處理技術(shù)研究
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