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官方微信摘要 名稱制備類金剛石薄膜的裝置公開號1266107公開日2000.09.13主分類號C23C14/06
| 名稱 | 制備類金剛石薄膜的裝置 | ||
| 公開號 | 1266107 | 公開日 | 2000.09.13 |
| 主分類號 | C23C14/06 | 分類號 | C23C14/06;C23C14/22 |
| 申請?zhí)?/strong> | 00111881.1 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2000.03.03 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 | 地址 | 201800上海市800－211郵政信箱 |
| 發(fā)明人 | 樓祺洪; 黃峰; 李鐵軍; 董景星; 魏運(yùn)榮 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進(jìn)入國家日期 | ||
| 專利代理機(jī)構(gòu) | 上海華東專利事務(wù)所 | 代理人 | 李蘭英 |
| 摘要 | 一種制備類金剛石薄膜的裝置，包括壁上帶有兩個透光窗口的真空室，真空室內(nèi)置有靶材和待沉積薄膜基底。置于真空室外有用激光器作為光源發(fā)射光束經(jīng)過分束鏡分成兩束光，一束為消融沉積光束經(jīng)第一聚焦透鏡透過第一透光窗口會聚到真空室內(nèi)的靶材上。一束為掃描光束經(jīng)反射鏡，第二聚焦透鏡，旋轉(zhuǎn)反射鏡透過第二透光窗口會聚到真空室內(nèi)的基底上。具有結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，獲得的薄膜質(zhì)量優(yōu)良，均勻而牢固。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號