国产日韩在线播放,日本中文一区,日本在线观看免费视频

金剛石厚膜熱沉基板的金屬化工藝

關鍵詞金剛石 , 厚膜 , 熱沉基板 , 金屬化|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱金剛石厚膜熱沉基板的金屬化工藝公開號1258761公開日2000.07.05主分類號C23C24/08

名稱	金剛石厚膜熱沉基板的金屬化工藝
公開號	1258761	公開日	2000.07.05
主分類號	C23C24/08	分類號	C23C24/08;H01L21/56;H05K3/12
申請號	99124561.X
分案原申請號		申請日	1999.12.10
頒證日		優先權
申請人	吉林大學	地址	130012吉林省長春市朝陽區前衛路10號
發明人	王佳宇; 陳宏宇; 呂憲義; 白亦真; 金曾孫	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	吉林大學專利事務所	代理人	王恩遠
摘要	本發明屬金剛石厚膜熱沉基板的金屬化工藝，采用ＭｎＯ#-[2]、Ni、Au三種漿料，順序分三次絲網印刷在金剛石厚膜生長面上，每次印刷后都在４００～５５０℃溫度下預燒５～２０分鐘，最后在真空度１０#+[-2]，torr、約９００ ℃下燒結MnO#-[2]漿料是將ＭｎＯ#-[2]與溶劑一起研磨再調節未粘度制成。本發明的工藝使金屬化圖形表面致密無孔洞，附著力強，有較好的可焊性，金剛石厚膜基板又不被氧化，工藝簡單，漿料成本低，對金剛石厚膜在微電子領域應用具有實際意義。

① 凡本網注明"來源：超硬材料網"的所有作品，均為河南遠發信息技術有限公司合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明"來源：超硬材料網"。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。

② 凡本網注明"來源：XXX（非超硬材料網）"的作品，均轉載自其它媒體，轉載目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責。

③ 如因作品內容、版權和其它問題需要同本網聯系的，請在30日內進行。

※ 聯系電話：0371-67667020