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陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法

關鍵詞陰極電弧 , 蒸鍍 , 類金剛石 , 碳膜|2010-12-10 00:00:00|行業專利|來源中國超硬材料網

摘要名稱陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法公開號1289861公開日2001.04.04主分類號C23C16/2

名稱	陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法
公開號	1289861	公開日	2001.04.04
主分類號	C23C16/27	分類號	C23C16/27
申請號	99119465.9
分案原申請號		申請日	1999.09.29
頒證日		優先權
申請人	永源科技股份有限公司	地址	臺灣省臺中市
發明人	汪大永	國際申請
國際公布		進入國家日期
專利代理機構	中原信達知識產權代理有限責任公司	代理人	袁炳澤;余朦
摘要	本發明采用陰極電弧蒸鍍方式淀積類金剛石碳膜的制備方法，是利用CAE金屬離子的高離子能量激發真空室中烴類氣體的裂解反應而淀積高硬度、高潤滑性的類金剛石碳膜，該碳膜由于內含金屬成分而具有良好的韌性，另外淀積類金剛石碳膜之前可借助于同一金屬弧源以CAE制備工藝先淀積一層或多層的金屬、金屬氮化物或金屬碳化物中介層以強化類金剛石碳膜的附著性，再通過烴類氣體與金屬弧源等離子體產生烴類氣體的裂解反應而淀積類金剛石碳膜

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