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申請號: 201720724618.1

申請日: 2017.06.20

申請人: 深圳先進技術研究院

發明人: 唐永炳; 王陶; 黃磊

       摘要： 

       本實用新型提供了一種表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，包括工件基體和緊密結合在所述工件基體表面的高致密納米金剛石薄膜，所述工件基體為硅基體、二氧化硅基體、碳化硅基體、氧化銅基體、氮化硅基體或硬質合金基體，所述金剛石薄膜的厚度為50?150nm。本實用新型的表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，其工件基體材質可選種類多，工件形狀構造不限，且金剛石薄膜具有納米級厚度，薄膜質量高，結合力強，推動了金剛石薄膜在納米機電系統中的應用。 

       主權利要求:

       一種表面具有高致密納米金剛石薄膜的工件，其特征在于，包括工件基體和緊密結合在所述工件基體表面的高致密納米金剛石薄膜，所述工件基體為原子力顯微分析儀探針，所述探針為硅材質探針或氮化硅材質探針，所述金剛石薄膜的厚度為50-150nm。