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申請號: 201720725409.9

申請日: 2017.06.20

申請人: 深圳市正和忠信股份有限公司

發明人: 阮志明; 潘旋; 曾德強; 廖生; 鐘俊超; 譚安平; 張曉柳; 阮炯城; 聶海天

       摘要： 

       本實用新型公開了一種類金剛石薄膜的沉積設備，其包括脈沖直流偏壓電源系統、恒流離化裝置和具有真空腔體的沉積殼體，沉積殼體接地且沉積殼體上設置有抽真空口和進出貨爐門，恒流離化裝置包括設置于沉積殼體外的離化電源和設置于真空腔體內的兩個離化電極，兩個離化電極分別與離化電源電連接，沉積殼體上設置有用于放置離子源的第一凸腔，真空腔體內設置有加熱管組、氣管組、靶材組和用于放置工件的環形的工件轉架，脈沖直流偏壓電源系統的電源正極接地，電源負極與工件轉架連接。本實用新型既可以提高沉積速度，又可以在高光鏡面上沉積光澤度高、致密細膩、硬度高、耐磨性能好、顏色均勻的裝飾性類金剛石薄膜。

       主權利要求:

       一種類金剛石薄膜的沉積設備，其包括脈沖直流偏壓電源系統和具有真空腔體的沉積殼體，所述沉積殼體接地且所述沉積殼體上設置有抽真空口和進出貨爐門，其特征在于，所述類金剛石薄膜的沉積設備還包括恒流離化裝置，所述恒流離化裝置包括設置于所述沉積殼體外的離化電源和設置于所述真空腔體內的兩個離化電極，兩個所述離化電極分別與所述離化電源電連接，所述沉積殼體上設置有用于放置離子源的第一凸腔，所述真空腔體內設置有加熱管組、氣管組、靶材組和用于放置工件的環形的工件轉架，所述脈沖直流偏壓電源系統的電源正極接地，所述脈沖直流偏壓電源系統的電源負極與所述工件轉架連接。