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申請號: 201720410287.4

申請日: 2017.04.19

國家/省市:中國廣東(44)

主分類號:C23C 16/27(2006.01)

授權公告號:206635412U

授權公告日:2017.11.14

分類號: C23C 16/27(2006.01)

申請人: 惠州市戴爾蒙德科技有限公司

發明人: 唐杰; 單元磊; 羅俊旋; 黃強元; 董朝新

代理人: 許志勇

代理機構:北京國昊天誠知識產權代理有限公司(11315)

申請人地址:廣東省惠州市仲愷高新區惠風七路7號公園壹號廣場廣東惠州大學生創業孵化基地1007、1008室

摘要： 本實用新型涉及化學氣相沉積鍍膜設備技術領域，尤其涉及一種熱絲CVD金剛石涂層設備。本實用新型的熱絲CVD金剛石涂層設備結構簡單，制造成本低廉，加快企業的生產效率，降低企業的生產成本；并且，生成的金剛石涂層牢固，生成金剛石涂層快速，在刀具使用過程中，金剛石涂層不易脫落，生產的刀具質量一致性好。

主權利要求

1.一種熱絲CVD金剛石涂層設備,其特征在于，包括：第一機殼；內置于所述第一機殼的第二機殼，所述第二機殼與所述第一機殼的頂部相連接，所述第二機殼與所述第一機殼之間形成冷卻空間；設置于所述第一機殼及第二機殼頂部的第三機殼，所述第一機殼、第二機殼及第三機殼形成一密封的反應腔室，所述第三機殼具有至少一反應氣體入口，所述至少一反應氣體入口連通所述反應腔室；設置于所述反應腔室的水冷基臺，所述水冷基臺包括：第一工作平臺及第二工作平臺，所述第一工作平臺及第二工作平臺的頂部相連接，所述第一工作平臺及第二工作平臺間具有一夾角A；設置于所述反應腔室的發熱裝置，所述發熱裝置位于所述水冷基臺的上方，所述發熱裝置包括：兩組接線柱、發熱絲組及連接機構，所述兩組接線柱設置于所述反應腔室，并分別位于所述水冷基臺的兩側，所述兩組接線柱分別連接直流電源的正極及負極，所述發熱絲組的兩端分別連接所述兩組接線柱，所述連接機構設置于所述反應腔室，并位于所述兩組接線柱間，所述連接機構分隔所述發熱絲組成第一部分及第二部分，所述第一部分及第二部分分別平行所述第一工作平臺及第二工作平臺；以及位于所述第一機殼一側的冷水機，所述冷水機的進口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺，所述冷水機的出口分別連接所述冷卻空間及水冷基臺。