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       申請號：201710386263.4
       申請人：楊凌美暢新材料有限公司
       發明人：曲東升 王新平 曹民博

       摘要： 本發明提供了一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機架帶動硅棒向電鍍金剛線網移動，同時主輥帶動電鍍金剛線網作往復運動實現切割，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度200?350顆/mm，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為6?16N，電鍍金剛線的線速度為1200?1800m/min，工件切割速度為0.8?3.5mm/min，切割液溫度為18?23℃，切割過程中，電鍍金剛線采用逐漸遞進法或先反向供給后正向供給的方式。采用本發明切割方法能夠在2h以內完成對8.4inch、650?700mm晶體硅棒的順利切割。        主權利要求：1.一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，包括如下步驟：（1）粘棒，（2）上料，（3）配制切割液，（4）切割，（5）下料，（6）脫膠、清洗，（7）檢測、包裝；所述步驟（1）粘棒：將燕尾與樹脂板、樹脂板與硅棒用粘膠粘接；所述步驟（2）上料：將步驟（1）中粘接成的整體通過燕尾裝到上下料工裝上，送入切片機；所述步驟（3）配制切割液：將切割液、消泡劑、水按照質量比為1∶1∶200～1∶0.5∶350混合均勻后，倒入切割液缸中；所述步驟（4）切割：所述切割由切割機架帶動硅棒向電鍍金剛線網移動，同時主輥帶動電鍍金剛線網作往復運動實現切割，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒密度200-350顆/mm，切割過程中，電鍍金剛線的切割張力為6-16N，電鍍金剛線的線速度為1200-1800m/min，工件切割速度為0.8-3.5mm/min，切割液溫度為18-23℃，切割過程中，電鍍金剛線采用逐漸遞進法或先反向供給后正向供給的方式。
       2.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述切割速度分為三部分：進刀切割速度為1.5-3.5mm/min，主切割速度為2-3.5mm/min，出刀切割速度為0.8-1.0mm/min。
       3.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，開始切割前，調節冷卻液流量到10-30L/min，優選為0-1L/min，上述流量對應切割深度設定為1-10mm；當切割達到設定位置時，將冷卻液流量調節到130-170L/min。
       4.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述逐漸遞進的切割方法為金剛線以往復切割方式從主輥的頭端向著末端先行走，所述每個往復循環中，頭端向著末端行走的電鍍金剛線的數量大于末端向著頭端行走的電鍍金剛線的數量。
       5.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述先反向進給→后正向進給的進給方式為電鍍金剛線以往復切割方式從主輥的末端向著頭端先行走，當電鍍金剛線切入工件位置一定距離后，金剛線又以往復切割方式從主輥的頭端向著末端行走，所述每個往復過程金剛線在主輥的槽里都是螺旋行進，所述反向進給所需電鍍金剛線總量小于等于正向進給所需電鍍金剛線總量。
       6.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線直徑為50-80um，電鍍金剛線破斷張力為10-23.5N，電鍍金剛線上金剛石顆粒直徑為5-16um，金剛石顆粒出刃高度4-7um。
       7.根據權利要求6所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線上金剛石顆粒直徑為6-8um。
       8.根據權利要求1所述的一種電鍍金剛線高效切割硅片的方法，其特征在于，所述電鍍金剛線的線速度為1200-1500m/min。