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       申請號：201710222157.2
       申請人：大連理工大學
       發明人：張振宇 黃思玲 崔俊峰 康仁科 郭東明

       摘要： 本發明提供一種納米深度損傷層機械化學磨削方法，屬于超精密加工技術領域。以氧化鋅為結合劑，添加劑為氧化鈰、氧化鎂、氧化硅、碳化硅，磨粒為金剛石，尺寸為500?1000nm。金剛石磨粒的重量百分含量為40?50％，結合劑的重量百分含量為20?25％，添加劑的重量百分含量為25?40％。將壓制的方塊進行高溫燒結，燒結時間2h，在350?400℃下形成氣孔，680?700℃下玻璃態成形。超精密磨削時，砂輪轉速為2200?2400rpm，砂輪進給速率為4?20μm/min。超精密磨削后，亞表面損傷層厚度可以達到45?100nm，為納米深度損傷層。本發明實現了硅片和玻璃納米深度損傷層高效超精密磨削方法。        主權利要求：1.一種納米深度損傷層機械化學磨削方法，采用陶瓷基金剛石砂輪，在機械化學復合作用下實現納米深度損傷層高效超精密磨削方法，其特征是：(1)工件為硅片或玻璃；(2)氧化鋅為結合劑，添加劑為氧化鈰、氧化鎂、氧化硅或碳化硅；(3)磨粒為金剛石，尺寸為500-1000nm；(4)金剛石磨粒的重量百分含量為40-50％，結合劑的重量百分含量為20-25％，添加劑的重量百分含量為25-40％，將金剛石磨粒、結合劑和添加劑在室溫下混合均勻，用等靜壓的方法在室溫下壓制成方塊，壓力為500-3000kg/cm2；(5)將壓制的方塊進行高溫燒結，在350-400℃下形成氣孔，680-700℃下玻璃態成形，燒結時間1.5-2h，燒結后形成密度為1.4-2.5g/cm3的陶瓷基陶瓷塊；(6)陶瓷基陶瓷塊均布粘接于鋁合金溝槽中，形成陶瓷基金剛石砂輪；(7)將陶瓷基金剛石砂輪安裝于超精密磨床上，用碳化硅磨粒在鑄鐵盤上對陶瓷基金剛石砂輪進行整形，然后進行超精密磨削，磨削液為去離子水；(8)超精密磨削時，陶瓷基金剛石砂輪的轉速為2200-2400rpm，工件的轉速為100-140rpm，陶瓷基金剛石砂輪的進給速率為4-20μm/min；(9)超精密磨削后，工件表面粗糙度Ra達到0.9-1.5nm，PV值8-20nm，亞表面損傷層厚度45-100nm，為納米深度損傷層。