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       申請號：201720061446.4
       申請人：中國科學院上海技術物理研究所
       發明人：羅海瀚 劉定權 孔園園 蔡清元

       摘要： 本專利公開了一種以CVD金剛石為基底的遠紅外波段光學薄膜濾光片，該濾光片以碲化鉛(PbTe)和硒化鋅(ZnSe)為高低折射率薄膜材料，在1?2×10?3Pa真空環境、200±2℃沉積溫度下，采用熱蒸發沉積方法在CVD金剛石基底兩側分別沉積多層膜而成；該遠紅外濾光片能夠實現對波長小于5微米波段的截止，平均透過率低于1％，在5?45微米波段平均透過率大于71％。本專利專利的遠紅外波段光學薄膜濾光片可應用于地球輻射探測遠紅外目標識別和深空探測等領域。        主權利要求：1.一種以CVD金剛石為基底的遠紅外波段光學薄膜濾光片，其結構為：在基底(2)的一面沉積正面帶通膜系(1)，在基底的另一面沉積反面截止膜系(3)，其特征在于：所述的正面帶通膜系(1)的膜系結構為：基底/0.27H0.95L0.57H0.78L0.69H0.81L0.58H1.01L0.33H2.15L/空氣其中，H表示一個λ0/4光學厚度的碲化鉛膜層，L表示一個λ0/4光學厚度的硒化鋅膜層，λ0為中心波長，其波長為5微米，H、L前的數字為λ0/4光學厚度比例系數乘數；所述的反面截止膜系(3)的膜系結構為：基底/0.34H1.19L0.72H0.98L0.87H1.01L0.73H1.27L0.41H2.69L/空氣其中，H表示一個λ0/4光學厚度的碲化鉛膜層，L表示一個λ0/4光學厚度的硒化鋅膜層，λ0為中心波長，其波長為4微米，H與L前的數字為λ0/4光學厚度比例系數。