超硬材料網

       申請號：201710120268.2
       申請人：同濟大學
       發明人：簡小剛 黃卓 甘熠華

       摘要： 本發明涉及一種基于孕鑲金剛石原位沉積生長金剛石涂層的工藝方法，包括以下步驟：(1)酸洗：取孕鑲金剛石基體置于酸溶液中，酸洗，腐蝕除去表面的Co；(2)超聲清洗：取酸洗后的孕鑲金剛石基體，置于金剛石微粉的懸浮液中，超聲處理；(3)氫等離子體刻蝕：再將酸洗和超聲清洗后孕鑲金剛石基體放入化學氣相沉積設備中，通入氫氣，進行等離子體刻蝕；(4)原位沉積生長金剛石涂層：刻蝕完成后，通入CH4氣體，原位沉積，冷卻，即完成。與現有技術相比，本發明利用化學氣相法在孕鑲金剛石表面沉積金剛石涂層，同時，通過特殊預處理工藝得到的自然過渡層提高了金剛石涂層與孕鑲金剛石基體之間的結合力，提高了孕鑲金剛石的耐磨性和使用壽命。        主權利要求：1.一種基于孕鑲金剛石原位沉積生長金剛石涂層的工藝方法，其特征在于，包括以下步驟：(1)酸洗取孕鑲金剛石基體置于酸溶液中，酸洗，腐蝕除去表面的Co；(2)超聲清洗取酸洗后的孕鑲金剛石基體，置于金剛石微粉的懸浮液中，超聲處理；(3)氫等離子體刻蝕再將酸洗和超聲清洗后孕鑲金剛石基體放入化學氣相沉積設備中，通入氫氣，進行等離子體刻蝕；(4)原位沉積生長金剛石涂層刻蝕完成后，繼續通入氫氣，并同時通入CH4氣體，原位沉積，冷卻，即得到表面生長有金剛石涂層的孕鑲金剛石。