超硬材料網

       申請?zhí)? 201610003381.8
       主分類號: B24D 18/00(2006.01)
       申請人: 北京師范大學
       發(fā)明人: 廖斌; 歐陽曉平; 羅軍; 張旭; 吳先映; 王宇東
       摘要： 本發(fā)明公開了一種基于離子束技術提高拋光光學玻璃的金剛石砂輪棒壽命方法，該方法是利用離子注入技術及磁過濾沉積技術在金剛砂表面沉積超厚超硬以及摩擦系數高以及韌性好的(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜，其中，制備該(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜方法包括：采用金屬陰極真空磁過濾沉積系統(tǒng)(FCVA)，在砂輪棒表面利用高能大束流金屬離子束對工件進行清洗；然后采用金屬真空蒸汽離子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一層能提高膜基結合力的金屬″釘扎層″；在所述的金屬″釘扎層″之上，采用磁過濾陰極真空弧沉積方法(FCVA)，在對氣體進氣量進行正弦或余弦調制沉積得到超硬韌性好的厚(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜層；重復調制周期直至(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜總厚度為10-30微米。通過實施本發(fā)明，在工件沉積(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜具有很好韌性以及很高的顯微硬度，能提高砂輪棒壽命2-5倍。

       主權利要求
       1.一種利用離子注入技術以及磁過濾沉積技術沉積超厚超硬摩擦系數高以及韌性好的(AlTi)1-xNx/AlTiCN/TiAl/(ZrAl)1-xNx復合膜層來提高拋光光學玻璃的金剛石砂輪棒壽命的方法。