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       申請(qǐng)人：湖南大學(xué)

       發(fā)明人：金灘 曲美娜 謝桂芝 李平

       摘要： 本發(fā)明公開了一種軟脆材料加工磨具及其制造方法及對(duì)軟脆材料加工的方法。所述加工磨具包括基體，所述基體的加工面上固定有多個(gè)金剛石片；所述金剛石片的加工面為弧面，該金剛石片的弧面上開設(shè)有圖紋槽，所述金剛石片相對(duì)基體的突出高度為1mm—2mm。所述對(duì)軟脆材料加工的方法為：采用所述軟脆材料加工磨具對(duì)軟脆材料進(jìn)行磨削，直到檢測軟脆材料表面的表面粗糙度為0.01μm—0.1μm。本發(fā)明利用所述加工磨具對(duì)軟脆材料加工，提高了材料的加工質(zhì)量，解決了軟脆材料的超精密加工問題。

       主權(quán)利要求：1.一種軟脆材料加工磨具，包括基體（10），其特征在于，所述基體（10）的加工面上固定有多個(gè)金剛石片（20）；所述金剛石片（20）的加工面為弧面，該金剛石片（20）的弧面上開設(shè)有圖紋槽（30），所述金剛石片（20）相對(duì)基體（10）的突出高度為1mm—2mm。

       2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟脆材料加工磨具，其特征在于，所述圖紋槽（30）的槽深為4μm—15μm，槽寬為10μm—45μm。

       3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟脆材料加工磨具，其特征在于，所述圖紋槽為條紋性槽、回紋形槽、波浪形槽或平行四邊體形槽。

       4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟脆材料加工磨具，其特征在于，多個(gè)金剛石片（20）呈行列排布或交錯(cuò)排布在所述基體（10）的加工面上。

       5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟脆材料加工磨具，其特征在于，所述金剛石片（20）的弧面上開設(shè)有多條圖紋槽（30），相鄰兩條圖紋槽之間的距離為10μm —50μm。

       6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的軟脆材料加工磨具，其特征在于，所述金剛石為CVD金剛石。

       7. 一種如權(quán)利要求1-6之一所述軟脆材料加工磨具的制造方法，其特征在于，包括如下步驟： 1）、通過拋光盤（2）對(duì)金剛石片（20）進(jìn)行弧面拋光，夾持頭（4）通過高度調(diào)整塊（3）夾持金剛石片（20）并使金剛石片（20）相對(duì)工作臺(tái)（1）的工作表面傾斜角度φ＝arctan a／b，其中a為高度調(diào)節(jié)塊（3）的高度、b為高度調(diào)節(jié)塊（3）的內(nèi)邊緣到夾持頭（4）內(nèi)邊緣的距離； 2）、對(duì)金剛石片（20）的弧面進(jìn)行刻蝕出圖紋槽（30）； 3）、將多個(gè)金剛石片（20）固定在磨具基體（10）的加工面上形成軟脆材料加工磨具。

       8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的軟脆材料加工磨具的制造方法，其特征在于，φ=5°-10°。

       9. 一種利用如權(quán)利要求1-6之一所述軟脆材料加工磨具對(duì)軟脆材料加工的方法，其特征在于，采用軟脆材料加工磨具對(duì)軟脆材料進(jìn)行磨削，直到檢測軟脆材料表面的表面粗糙度為0.01μm —0.1μm。

       10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述對(duì)軟脆材料加工的方法，其特征在于，對(duì)軟脆材料進(jìn)行磨削包括如下步驟： 1）、粗加工，磨削砂輪轉(zhuǎn)速為5000r/min—7000 r/min，單次切深0.4μm—0.6μm； 2）、精加工，磨削砂輪轉(zhuǎn)速為5000r/min—7000 r/min，單次切深0.1μm—0.3μm。

       11. 根據(jù)權(quán)利要求9或10所述對(duì)軟脆材料加工的方法，其特征在于，所述軟脆材料為磷酸二氫鉀、碲鋅鎘、砷化鎵或磷化銦。