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　　申請?zhí)枺?01410241054.7

　　申請人：大連理工常州研究院有限公司

　　摘要：一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置，屬于鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括真空室上壁板和真空室下壁板，其特征在于：上電極板與真空室上壁板固定連接；至少兩列熱絲豎直分布，每列熱絲上端與其對應(yīng)的上電極板固定連接，每列熱絲下端與其對應(yīng)的下電極板固定連接；下電極板下端固定于熱絲調(diào)力機構(gòu)之上，熱絲調(diào)力機構(gòu)固定于真空室下壁板之上。該裝置采用多陣列熱絲豎直分布，可以雙面大面積鍍膜，減少熱絲的成本，多列熱絲的分布方式可以實現(xiàn)大面積鍍膜試樣的完整有效鍍膜，且提高鍍膜的效率，豎直分布的熱絲結(jié)構(gòu)保證了在不破壞熱絲的情況下取出試樣，進一步降低了熱絲的成本，熱絲下端的熱絲調(diào)力機構(gòu)可以張緊熱絲并限制熱絲擺動，實現(xiàn)均勻鍍膜。

　　主權(quán)利要求：1.一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置，包括真空室上壁板(11)和真空室下壁板(12)，其特征在于：上電極板(2)與真空室上壁板(11)固定連接；至少兩列熱絲(7)豎直分布，每列熱絲上端與其對應(yīng)的上電極板(2)固定連接，每列熱絲下端與其對應(yīng)的下電極板(3)固定連接；下電極板(3)下端固定于熱絲調(diào)力機構(gòu)之上，熱絲調(diào)力機構(gòu)固定于真空室下壁板(11)之上。

　　2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置， 其特征在于：所述上電極板(2)通過固定支架(8)與真空室上壁板(11)固 定連接。

　　3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置， 其特征在于：所述每列的熱絲(7)的分布為： 在上電極板與下電極板兩端位置上，垂直于上電極板和下電極板，分別平 行等距排布4根熱絲，在上電極板與下電極板中間位置上平行等距排布10-30 根熱絲，且兩端位置上的熱絲之間的距離為中間位置上的熱絲之間距離的一半。

　　4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置， 其特征在于：所述熱絲調(diào)力機構(gòu)包括保護鐘罩(5)，所屬保護鐘罩下端固定于 真空室下壁板之上，保護鐘罩上端設(shè)有限位通孔；熱絲調(diào)力滑板(4)上端固定 于下電極板上，其下端依次穿過限位通孔和滾軸(10)。

　　5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置， 其特征在于：所述熱絲調(diào)力滑板(4)上端固定于下電極板上，其下端依次穿過 限位通孔和滾軸(10)后，再與配重(6)連接。

　　6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣列熱絲裝置， 其特征在于：所述熱絲調(diào)力滑板(4)上端固定于下電極板上，其下端依次穿過 限位通孔和滾軸(10)后，再與調(diào)力彈簧相連，調(diào)力彈簧另一端與真空室下壁 板(12)或保護鐘罩(5)底壁相連。

　　7.根據(jù)權(quán)利要求4、5或6任一所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣 列熱絲裝置，其特征在于：所述熱絲調(diào)力滑板(4)為直線型滑板，滾軸(10) 固定安裝于保護鐘罩內(nèi)部。

　　8.根據(jù)權(quán)利要求4、5或6任一所述的一種垂直布局制備金剛石膜的多陣 列熱絲裝置，其特征在于：所述熱絲調(diào)力滑板(4)為彎折型滑板，滾軸(10) 固定安裝于支撐柱(9)上，支撐柱固定于真空室下壁板之上。