申請人:大連理工大學
摘要:一種提高電化學法合成硬碳膜中金剛石含量的方法,屬于先進材料制備的技術領域,涉及到液相電化學沉積類金剛石薄膜。其特征是在反應液中通入氧化劑臭氧氣體,由臭氧分解的大量活性氧原子對伴生石墨相有強的刻蝕作用,從而提高薄膜中金剛石相的相對含量。本發明的效果和益處是:活性氧原子有效地抑制了石墨相的生長,使沉積薄膜中的金剛石相對量提高;通入臭氧氣體對反應液其攪拌作用,可調節反應溫度,提高沉積薄膜的均勻性。
獨立權利要求:1.一種提高電化學法合成硬碳膜中金剛石含量的方法,是以甲醇或乙醇為反應溶液,加入去離子水,甲醇或乙醇的體積百分比為10-80%,甲醇或乙醇水溶液中加入0.1-30%甲酸或乙酸,活性氧化劑臭氧抑制伴生的石墨相,提高沉積薄膜中金剛石相的相對含量,通入的臭氧氣體對反應液起到攪拌作用,調節反應液的溫度,提高沉積薄膜的均勻性;其特征是在電化學反應的過程中連續不斷地通入活性氧化劑臭氧,臭氧通入量為0-200mg/h。